◎新規フリップチップボンダー導入しました!
ラージエリア(最大12inch) ICサイズ(□0.4mm~□30mm)
高精度(搭載精度±2.0μm) 荷重0.5~50N/10~490N(2ヘッド交換式
半導体実装の最先端技術と期待されているTSV接合、2.5D/3D実装、FO-WLPなどの高密度が対応可能です。搭載ヘッドは低荷重及び高荷重の2ヘッド方式(交換式)とヘッド加熱システムはパルスヒートを採用しているので、微細な実装プロセスも対応可能です。また、チップのフェイスアップ高密度実装も対応可能です。
※ほか超音波仕様フリップチップ実装にも対応しております。