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ソフトワークス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.softworks.co.jp/
  • 小間番号6917


カスタマイズが可能な、高速3次元測定装置を提供いたします。

3次元のハンダフィレット測定装置をデモ展示致します。

本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/の測定速度で、最大 100 万ポイント/(HSタイプ)を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。


 プレスリリース

  • 本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/の測定速度で、最大 100 万ポイント/(HSタイプ)を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。

  • 本装置は電着工具のダイヤモンド層とNi層のギャップを測定します。砥粒の番手が正確に分かります。原理として、高精度のC-MOSカメラと、テレセントリック光学系を用いてワークを回転させる事により、ギャップを測定致します。回転無しのモードも備えます。またY軸を移動する事により、測定視野を拡げる事も可能です。従来の目視や顕微鏡検査に比べ、短時間で、圧倒的な高精度、高再現性を実現いたします。卓上から全自動型インラインにも容易に対応致します。多品種少量生産も柔軟に対応させていただきます。

  • 本装置は弊社スーパーマクロ光学系を用いて、大視野、超高精検査を可能にしております。(1視野2秒程度)原理として、シュリーレン干渉計を用いる為、微小な欠陥も見逃しません。従来の目視や顕微鏡検査に比べ、短時間。高精度CMOSカメラリンクラインカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を実現いたします。また卓上から全自動型インラインにも容易に対応致します。ワークサイズも柔軟に対応させていただきます。


 出展製品

  • 高精度高速3次元測定装置
    本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。...

  • 本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/の測定速度で、

    最大 100 万ポイント/(HSタイプ)を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。

  • 超高速 ワイヤーボンド3次元外観検査装置
    本装置は、超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。 ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ...

  • (2次元画像処理部)              (2次元画像処理部)

    ・500万画素CCDカメラ                         ・視野サイズ     約7㎜×5.6㎜

    ・レンズ 倍率×1.5倍                             ・画素分解能     約2.3μ/画素

    ・青色LEDドーム同軸照明                            ・作動距離       約  96㎜

    ・LED電源     3CH                                     ・検査時間       0.5秒/画面以内

    (3次元画像処理部)             (3次元画像処理部)

    ・130万画素CCDカメラ                              ・視野サイズ   約9㎜×5.6㎜

    ・CCTVレンズ f=50㎜                              ・画素分解能   約5μ/画素

    ・赤色LEDドーム照明                                  ・作動距離     約131㎜

    ・画像処理PC及びカメラ取り込みボード         ・検査時間     1秒/画面以内

     

  • 化合物複合検査装置
    化合物系ウエハー検査装置です。6インチ迄のSic、Gan、サファイアウエハーなどの、 内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。 検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つ光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを 持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。 オプションで、同じ座標系に、AFMやウエハー厚さ測定を載せる事も可能です。 ...

  • 装置構成

    1)スーパーマクロ(SM-75)

    ・ウェハ局所のシュリーレン画像観察

    ・局所画像の合成処理によるウェハ全体画像

    (2)微分干渉顕微画像ステーション

    ・ウェハ局所の暗視野顕、明視野顕微画像観察

    (3)暗視野斜光画像ステーション

    ・局所ウェハ表面の暗視野斜光画像観察

    (4)偏光透過画像ステーション

    ・局所ウェハ表面の偏光透過画像観察

    (5)自動ステージ

    (1)、(2)、(3)、(4)を一体構造とし、

    ユニット間のワーク移動&座標連動を行う。

  • 全自動AFM測定装置
    全自動全数測定が可能なAFM測定装置になります。 測定ワークを、カセットに装着しておけば、指定場所を全自動で測定いたします。 今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。 プローブもカーボンナノチューブを用いる事で、交換頻度も従来の1/100のです。(別紙参照) 測定サンプルサイズも標準でφ300mmですが、FPDなどの大型基板にも、対応いたします。 カセット数もご要望に応じクリーンルーム対応もございます。 ...

  • AFM測定ヘッド部                   搬送ロボット部(一例)

    走査ヘッド     広域走査型           被搬送物    最大φ150mmウェハー

    最大走査レンジ   110μm(±10%)       動作範囲    アームストローク(R軸)240mm

    最大Zレンジ    22μm(±10%)        旋回角度(θ軸)     340度

    Z方向分解能     0.0013nm  *1         上下ストローク(Z軸)   200mm

    XY方向分解能    0.0065nm  *1         搬送速度       R軸 240mm/0.8sec

    非線形性      <0.6%                                θ軸 180度/0.8sec

    Zノイズレベル   350pm                                 Z軸 200mm/0.8sec

    ※*1:分解能は24ビット分割による計算値       ステージ部     自動X軸,Y軸、Z軸 

  • マイクロバンプ3次元測定装置
    LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。バンプサイズが30μm以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では10μm程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法によってバンプの立体的投影像から3次元形状の測定を行います。 ...

  • 装置概略仕様

    対応ウェハ                     6,8、12インチ可能 (指定下さい)

    最小測定可能バンプ       10μmφ

    カメラ                           8192画素TDI方式高速ラインセンサーカメラ ×3

    レンズ倍率 *              20×

    画素分解能                     0.35μm/画素

    照明光源                            青色半導体レーザー

    測定再現精度(σ)       ±0.1μm(2D径) ±0.2μm(3D高さ)

    検査時間 *                 12分/6インチウェハ (200万バンプ)

    *)レンズ倍率と検査時間は対応可能なバンプサイズで異なります。例えば30μmバンプに対応

    する装置の場合ならレンズ倍率7×程度となり、検査時間も1/8程度に短縮する事が出来ます。