PFSC™は、半導体製造設備をオンライン化し先進的な製造ラインにアップグレードするためのステーションコントローラー構築サービスです。数千の設備接続実績をもつEIB®ソフトウェアを搭載しており製造ラインの生産設備をオンライン化することでさまざまなメリットを享受することができます。
PFSCによるステーションコントローラー導入効果
PFSCを活用して上流工場システムと製造設備間のコミュニケーションレイヤーを構築することで、生産ラインの高度化と自動化を同時に推進することができます。装置へのわずらわしい手作業での製造指示入力から開放され指示ミスによる歩留まり低下を抑制します。また装置から報告されたデータを上流工場システムやデータベースへ連携することでリアルタイムレシピパラメータ調整を行ったり、蓄積データを統計解析し生産ラインのボトルネック発見や生産性向上施策の元データとして活用することが可能となります。さらに生産ラインのダッシュボードGUIにより設備状態の見える化を推進することで設備の予防保全と生産ライン全体の可用性向上施策を進めることが可能となります。
PFSCのシステムアーキテクチャ
PFSCはWindowsで稼働するステーションコントローラーであり、管理対象の設備と１対多の関係となることが一般的です。PFSCはお客様の多様なニーズと設備固有仕様にフレキシブルにフィットすることができるよう工場側システムインターフェース層、ビジネスロジック層、設備接続インターフェース層の3層で構成されています。工場側システムインターフェースはMQTTや.NETなど汎用インターフェースを標準装備しているほか、お客様固有の仕様をインテグレーションすることが可能です。設備接続インターフェースはSECS、HSMS、GEM、GEM300、OPC-DAといった業界標準通信規格をサポートしており、設備固有の通信仕様もインテグレーションすることができます。
設定ユーティリティ「PDT」による設備情報のインポートとビジネスロジックの設定
設定ユーティリティ「PDT」は設備メーカーが提供するPDF形式やWord型式の通信仕様書をインポートしステーションコントローラーからアクセス可能なよう自動設定を行うことができます(SEMI E30対応設備の場合)。さらにPDTによって設備シミュレータも自動構築が可能でありシミュレータを活用することでシステム構築スピードを高めることができます。
- *PEER Group®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける登録商標です。
- *PFSC™は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *EIB®は、カナダ The PEER Group Inc.社の米国およびカナダにおける商標です。
- *その他記載の製品、サービス名は各社の商標または、登録商標です。