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最先端かつオンリーワンテクノロジーの製品をお客様へご満足頂けるよう、最適なご提案をお約束致します。
株式会社フィジックス テクノロジーは、全ステージがピエゾ駆動でありながら長ストロークを実現する高分解能ピエゾステージなど、ユニークかつ最先端な光学・測定・精密機器の専門企業です。
長年培ったノウハウとネットワークで、最先端かつオンリーワンの製品をお客様にご紹介差し上げております。
ピエゾステージのサイズは、世界最小サイズになっておりますので、
ぜひ、弊社ブースにてご確認ください。
製品特徴
製品一覧
●直動ステージ(移動量:最大619mm)
●Z軸ステージ
●回転ステージ
●ゴニオステージ
●スマーポッドステージ
●ヘキサポッドステージ
●多軸(X-Y-Z-回転)ステージ
製品特徴
●小型センサーヘッドでありながら、超長距離(最長5m)の測定レンジと、ピコスケールの分解能を両立
●マイケルソン干渉計
●単一軸の変位計測、角度測定・微分測定など、様々なアプリケションに対応するセンサヘッドをラインナップ
●使用環境によるノイズを補正する環境補正モジュールなど、様々なオプションをご用意
●真空、極低温、非磁性など、多様な環境に対応
製品概要
●長年の市場分析に基づいた技術課題に対応する、小型、高分解能、高速性能を実現 ●温度特性に優れ、アライメントも容易 ●20μmピッチの多種多様なスケールに対応 ●真空対応、動作温度範囲0～80℃ ●リードヘッドはモジュール式で、OEM製品として供給することも、カスタマイズされたハウジングに組込んでのご提供も可能