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レヴィトロニクスジャパン

台東区,  東京都 
Japan
http://www.levitronix.com/ja
  • 小間番号6037

レビトロニクスは半導体産業で使用される超高清純度ポンプ及びミキサの世界的なマーケット・リーダです。レビトロニクスの製品には他社の追従を許さない革命的な磁気浮上技術が採用されており、これにより非接触でパーテイクル・フリーの機能を実現しております。機械的な摩耗を一切生じないのでレビトロニクスのポンプはスラリ処理、金属メッキ処理、ウエットクリーニング・エッチング、並びに高清純度流体移送及び供給システム用途に理想的なポンプであります。そして、流量と圧力を正確に電子制御しながら連続フロ―の供給ができるポンプでもあります。

レビトロニクスのポンプはパーテイクルの発生や金属汚染を極限までに抑制することが必要とされる高清純度流体処理の為に設計されたポンプであります。独立した研究所が行った試験でレビトロニクスのポンプからのパーテイクルの発生はダイヤフラムポンプと比較して遥かに少ないことが証明されております。CMPスラリでのレビトロニクス、ベローズ、ダイヤフラム各ポンプ間の比較テストではウエーハのスクラッチや損傷の原因となりかねないパーテイクルがレビトロニクスポンプの場合、他タイプの200-1000分の1しか発生しないという結果が出ております。

レビトロニクスのポンプは下記の液体移送で市場占有率トップ:

  • CMP スラリ供給装置
  • ウエハ枚葉洗浄装置
  • 電気化学式析出装置(メッキ液)
  • 純水昇圧装置
  • ケミカル供給装置


 出展製品

  • BPS シリーズ
    Levitronix® BPSポンプは、半導体のウェットプロセスとして、製品の歩留まりを改善する様々な利点を提供します。 ...

  • Levitronix® BPSベアリングレスポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。 インペラとケーシングは耐薬品性の高純度フッ素樹脂で作られています。流体の流量と圧力は、インペラの回転速度を電子的に調整することにより、正確に制御されます。

    システムの利点

    • 最も清浄なポンプ: 業界実績より証明 – 半導体製造(およびそれ以降) で最も超高純度ポンプ!
    • 金属汚染が非常に少ない: エア駆動ポンプより大幅に低い
    • 低せん断設計: スラリーと繊細なめっき液に最適
    • 脈動の無い送液: プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力
    • 高い制御性と広い流量範囲: 流量性能に悩まされることのない - 非常に正確な流量と圧力
    • 非常に長いMTBF (>100年): 非常に高い信頼性
    • 最高のターンダウン率: 数ml/minから最大流量まで
    • 省フットプリント: エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
    • データ取得とデータ監視: スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
    • 低騒音と低振動: エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
    • 統合PIコントローラ: フィードバックループを作れます
    • 長い歴史: 25年以上の経験
  • BPS 帯電防止 シリーズ
    Levitronix® BPS帯電防止ポンプは、優れたESD保護をもちながら、製品の歩留まりを向上させる独特の利点を提供します。 ...

  • Levitronix® BPS 帯電防止ベアリングレスポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。

    導電性の接液部品は、ステンレス鋼または炭素繊維添加剤を含むPTFEのいずれかで作られています。

    システムの利点

    • 最も清浄なポンプ: 業界実績より証明 – 半導体製造(およびそれ以降) で最も超高純度ポンプ!
    • 金属汚染が非常に少ない: エア駆動ポンプより大幅に低い
    • 低せん断設計: スラリーと繊細なめっき液に最適
    • 脈動の無い送液: プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力
    • 高い制御性と広い流量範囲: 流量性能に悩まされることのない - 非常に正確な流量と圧力
    • 非常に長いMTBF (>100年): 非常に高い信頼性
    • 最高のターンダウン率: 数ml/minから最大流量まで
    • 省フットプリント: エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
    • データ取得とデータ監視: スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
    • 低騒音と低振動: エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
    • 統合PIコントローラ: フィードバックループを作れます
    • 長い歴史: 25年以上の経験
  • BPS 高温 シリーズ
    Levitronix<sup>®</sup> BPS高温ポンプは、半導体のウェットプロセスとして、製品の歩留まりを改善する様々な利点を提供します。 ...

  • Levitronix® BPS高温ベアリングレスポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷用の冷却ループが付属されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。

    インペラとケーシングは耐薬品性の高純度フッ素樹脂で作られています。流体の流量と圧力は、インペラの回転速度を電子的に調整することにより、正確に制御されます。

    システムの利点

    • 高温用途に最適: 最大220°Cの液温
    • 最も清浄なポンプ: 業界実績より証明 – 半導体製造(およびそれ以降) で最も超高純度ポンプ!
    • 金属汚染が非常に少ない: エア駆動ポンプより大幅に低い
    • 低せん断設計: スラリーと繊細なめっき液に最適
    • 脈動の無い送液: プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力
    • 高い制御性と広い流量範囲: 流量性能に悩まされることのない - 非常に正確な流量と圧力
    • 非常に長いMTBF (>100年): 非常に高い信頼性
    • 最高のターンダウン率: 数ml/minから最大流量まで
    • 省フットプリント: エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
    • データ取得とデータ監視: スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
    • 低騒音と低振動: エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
    • 統合PIコントローラ: フィードバックループを作れます
    • 長い歴史: 25年以上の経験
  • BFSファンシリーズ
    Levitronix® BFSファンは、半導体のアプリケーションとして、製品の歩留まりを改善する様々な利点を提供します。 ...

  • Levitronix®ベアリングレスファンシステムBFSは、マイクロエレクトロニクス製造における要求の厳しいアプリケーション用に設計されています。磁気浮上技術に基づいて、ファンインペラはモータの磁場によって浮上し、駆動します。インペラとステータの間の広いギャップにより摩耗がないため、パーティクルの発生がないことを保証した、最も清浄なファンになります。インペラとステータは完全に封入されるため、揮発性の高い媒体に対して非常に強い耐性があり、爆発性雰囲気での使用に適しています。

    システムの利点

    • 最も清浄なファン: マイクロエレクトロニクス製造の中で最も清浄なファン
    • 化学的耐性: 揮発性ガスに対するロバスト
    • 爆発性雰囲気での使用に最適: ATEX/IECEx認定
    • 高風量性能: 37 m3/minまで
    • 非常に低いメンテナンスコスト: パーティクルの減少
    • 統合エレクトロニクス: 大幅に削減されたフットプリントとケーブル接続の労力
    • ワイドな風量レンジ: 数cm3/minから最大風量まで
    • 非常に長い寿命時間: 機器の稼働時間の増加
    • 統合された風量または圧力制御: フィードバックループを作成
    • 省フットプリント、低振動: 高出力密度