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MILAEBO JAPAN

四日市市海山道町,  三重県 
Japan
http://www.milaebo.com
  • 小間番号6732


未来宝日本は技術の向上と未来への発展に焦点を当て、共に学び成長できる機会を楽しみにしています。心よりお待ちしております。

MILAEBO JAPANは半導体製造装置、LED/Solar製造装置における各種TRAP(Byproduct 捕集用),マントルヒーター(加温用、保温用)をご提案致します。

皆さまのお越しを心よりお待ちしております。


 プレスリリース

  • (20231102)

    捕集現象解析及び多様な分析結果データの確保の下、製品の性能検証の信頼性を高め、正確な解析データによるTrapの開発及び個別顧客対応が可能となりました。

    また、2パターンの大容量TRAPの新規開発により、更なる捕集可用領域を拡大、顧客満足度の向上に努めて参ります。


 出展製品

  • MLBTR-H50V4 Ti/TiN Trap Mantle Heater
    Trapは半導体製造プロセスにおいて発生する副産物(Byproduct)を捕集する装置です。 配管の詰まりを防止し、PumpとScrubberを保護します。 装置全体としての安定稼働、安定したprocessにお役に立てることができます。 Mantle HeaterはGas Line 內 Liquide Source Vaporize & Temperature 維持 真空配管内の工程の副産物蒸着防止(工程の副産物逆流拡散防止)...

  • Trapは半導体製造プロセスにおいて発生する副産物(Byproduct)を捕集する装置です。

    Process Chamber(半導体製造装置)内に流入するガスは、Wafer Processに使用された後に、Vacuum Line, Vacuum Pump, Scrubberを通り、排気処理されます。その際、ガス間の反応により発生した副産物がVacuum Lineに堆積すると、Pumpの効率を低下させ、圧力が不安定となります。更にPumpの停止という深刻な事態を引き起します。

    このような問題を防止するために、Vacuum LineにTrapを設置し、副産物を捕集します。    

    配管の詰まりを防止し、PumpとScrubberを保護します。

    装置全体としての安定稼働、安定したprocessにお役に立てることができます。