Loading...

プレシテック・ジャパン

品川区大崎,  東京都 
Japan
http://www.precitec.com
  • 小間番号6824


プレシテックはドイツの光学式センサメーカーです。厚み、距離、形状測定に使用でき、特に、高サンプリングな用途に最適です。

今回は、下記製品二つが特に見どころとなります。その他、形状測定用のラインセンサ、安価な距離センサ、不透明体を片面から測定できる非接触センサを展示します。


■新製品
 ① FSS310

   分光干渉式で高精度なウエハの厚み測定ができます。視野角が310mmあるため、12'ウエハの全面厚み測定が可能。ガルバノミラーによるスキャンのため、ステージスキャン無しで、振動による影響がありません。

   ウエハ厚みは最大1nmの繰り返し精度で測定が可能で、スキャンスピードは最大70kHzで、12'ウエハの全面厚み測定時間の大幅な短縮を可能にします。

   2023年のSPIE(サンフランシスコ)にてAwardも受賞したセンサになります。

 ② CHRocodile 2IT / 2IT DW

         分光干渉式で、ウエハ厚みの高精度な測定が可能です。DWシリーズは、異なる波長光源を使用し、ドープウエハにも対応しています。

   繰返し精度1nm,最大70kHzでの測定ができます。 


■その他の展示品

 ③ CLS2.0

   色収差共焦点方式の光学式ラインセンサです。1200個のセンサ素子が並んでおり、ステージスキャンと組み合わせれば、3次元形状のエリア測定ができます。

   この原理では、角度許容度も高く、ワイヤボンディングのワイヤ、ボンダ部、ウエハエッジ、マイクロバンプなどの形状測定にも最適です。

   最も角度許容度の高いプローブでは、53度となります。

 ④ CHRocodile C / CHRocodile Mini

   色収差共焦点方式の光学式シングルポイントセンサです。1式100万円程度と安価なバージョンではありますが、高精度な距離測定ができます。

   標準4kHz, 最大10kHzでの測定が可能で、高精度な高さ測定、アライメントなどに活用できます。

   CHRocodile Cは、プローブ・コントローラが一体となっているもので、Miniはプローブと・コントローラが別体となっているものです。

 ⑤ Enovasense

   レーザーフォトサーマル技術(光と熱)で、塗装膜、金属膜など不透明体の厚みを、非接触で片面から高精度に測定ができます。

   本センサのメリットは、

     ・非接触のため破壊試験不要

     ・最小10nm~1mmまでの測定範囲

     ・1~3%の高精度測定

     ・母材に依らず様々な材料の組み合わせで測定可能


 プレスリリース

  • 日本での展示会では初出展の新製品です。ドイツのプレシテック社製FSS310は、分光干渉式で高精度なウエハの厚み測定ができます。

    視野角が310mmあるため、12'ウエハの全面厚み測定が可能です。

    ガルバノミラーによるスキャンで、ステージスキャン無しでの測定ができ、振動による影響がありません。

    ウエハ厚みは最大1nmの繰り返し精度で測定が可能で、スキャンスピードは最大70kHzで、12'ウエハの全面厚み測定時間の大幅な短縮を可能にします。

    2023年にサンフランシスコで開催されたSPIEにて、Prism Award Winner 2023も受賞したセンサになります。

    https://www.precitec.com/optical-3d-metrology/


 出展製品

  • 超高速ウェーハ形状・厚み測定センサ Flying Spot Scanner 310
    12インチウェーハ全面測定が可能な超高速面形状および膜厚測定センサ...

  • Flying Spot Scanner 310(FSS310)は、独自の画期的な技術に基づいた最大12インチまで面測定が可能な
    高速エリアセンサです。
    分光干渉測定技術と高速スキャンを融合させたセンサであり、測定エリアがφ310mmであることから、
    12インチウェーハのTTV、反り、歪みの高速全面測定を実現します。

    ◆仕様
    原理: 分光干渉原理を用いた厚みと距離(変位)測定
    測定レート: 最大70000Hz
    測定範囲: 使用するCHRocodile 2ITセンサによる
    測定速度: 最速10m/sec
    スキャンエリア: 最大310mm
    側面分解能: 20um(CHRocodile 2ITDWセンサ使用時)
    許容角度: 90°±1°

    ◆特長
    最大12インチまでの面測定が可能な超高速エリアセンサ
    従来の面測定に比べ、測定時間を大幅に短縮できる
    指定したエリアの測定が可能
    XYステージ不要
    ステージレスのため、振動なし
    可動ステージを使用せずに指定した範囲を測定することが可能
    プローブレンズ内の複数箇所の測定が可能
    高い側面分解能での測定が可能
    光沢のある素材でも測定が可能

    ◆アプリケーション
    ウエハ全面の厚み測定
    ウエハ全面のTTV、反り、歪み測定
    塗布膜厚み

    ◆製品ラインナップ
    Flying Spot Scanner 310
    Flying Spot Scanner 80
    Flying Spot Scanner 40

  • 非接触光学式ウェハー厚みセンサ:CHRocodile 2ITDWシリーズ
    ウェーハ加工中のインラインでもオフラインでもSiウェーハを片側から厚み測定可能。 また高いドーパントSiウェーハやSiC, GaN等の材料でも測定可能。...

  • 本製品はSiウェーハの厚みを片側から測定でき、また高いドーパントウェーハの厚みも高い精度と
    分解能で測定可能です。
    用途としてはウェーハの加工中(研削、研磨、エッチング等)でインラインでも測定できる点、
    またそれ以外にオフラインや品質管理の用途でもウェーハの厚みを高い精度で測定できます。
    Si以外にSiCやGaN, LTといった材料にも測定可能です。

    ◆仕様

    測定レンジ:3.5um-2000um(Si) / 5um-3000um(SiC)
    光源:赤外SLD
    サンプリングレート: 70kHz
    測定原理:分光干渉法

    ◆アプリケーション
    Siウェーハの研削、研磨、エッチング中のインプロセス(Insitu)中の測定
    品質管理及びオフラインでのSi厚み管理
    ドーパントウェーハの厚み
    SiC, GaN, LT等の新材料の厚み

  • 廉価モデル光学式形状センサ:CHRocodile C, Miniシリーズ
    大きなうねりや傾斜のある形状プロファイルや距離を片側から形状測定可能。原理は色収差共焦点。...

  • 本製品は白色光による色収差の原理を用いたワークの形状プロファイルや距離を片側から高い分解能且つ精度で測定できです。また鏡面以外に粗面の形状も安定して測定できます。
    ワークに対して直角に測定するためシャドーイングがない点、スポットが小さく高い光学分解能を兼ね備えたセンサーです。最大許容角度も±45度と傾斜の大きなワークも安定して形状測定が可能です。

    手のひらサイズでコンパクトな大きさ且つ価格もお求めやすい価格帯となっております。

    ◆仕様

    測定レンジ:以下測定レンジのヘッドを準備しております。
    CHRocodile C: 200um, 500um 1mm, 4mm, 10mm
    CHRocodile Mini: 600um 4mm, 10mm
    光源:白色LED
    サンプリングレート: 4kHz(CHRocodile C), 10kHz(CHRocodile Mini)
    測定原理:色収差共焦点

    CHRocodile Miniはプローブとコントロールユニットがファイバーによる分離型
    CHRocodile Cはプローブとコントロールユニット一体型
    となります。

    ◆アプリケーション事例
    高さ測定、プロファイル測定、反り測定、うねり測定、アライメント測定、ウエハ粗さ測定.等

  • 厚み測定用レーザーフォトサーマルセンサ Enovasense
    レーザー光と熱で、塗装膜、金属膜など不透明体の厚みを、非接触で片面から高精度に測定ができます。...

  • フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。

    半導体分野では、ウェーハの製造・加工において層厚みに測定では、非接触の光学式センサが使われることが多いです。
    しかしながら、不透明な材料の層では光が透過しないため、使用することができません。
    Enovasenseセンサでは、熱を利用するため、これらの層の高精度な測定ができ、製造・加工プロセスの最適化に活用できます。
    具体的には、ウェーハ酸化膜、窒化膜、ウェーハ上の封止樹脂の研削時の厚み測定などがあります。

    ◆特長
    ・非接触で、不透明体の厚み測定が可能。破壊試験が不要に。
    ・最小10nm~最大1mmまでの広範囲な測定範囲。
    ・1~3%以下の高精度測定が可能。精度が不足している方にお勧め。
    ・母材に依らず様々な材料の組み合わせで測定可能。

    ◆アプリケーション
    自動車業界、航空業界、日用品、産業品、医療業界、半導体など多岐にわたる分野にて、コーティング厚み、金属メッキ厚み、塗装膜など様々なアプリケーションで使用されています。

    *現在、Enovasense社は、ドイツの光学センサメーカーのPrecitecのグループ会社となっています。

  • 高速3次元形状測定用ラインセンサ CHRocodile CLS2.0
    ウェーハ表面・端面形状測定や貼り合わせウェーハのズレ量等の測定が可能な高速かつ高精度測定が可能なラインセンサ...

  • CHRocodile CLS2.0は、インラインでの品質管理に最適なセンサです。
    ウェーハの表面・端面形状測定、貼り合わせウェーハのずれ量、半導体チップの形状検査、はんだバンプの測定、ワイヤボンディング後の各種測定等、半導体産業でのアプリケーションに適したセンサです。
    高い側面分解能、Z方向分解能を備えたデータを提供し、複雑な形状であってもシャドウイングの影響なしで測定が可能です。

    ◆仕様
    原理: 色収差共焦点原理
    測定レート: 最大36000Hz(標準7930Hz)
    測定ポイント: 1200ポイント
    測定範囲: 0.24~10.6mm
    ライン長: 1.18~11.9mm
    Z方向分解能: 0.025~0.8μm
    許容角度: 90°±53°~±13°


    ◆特長
    1200ポイントの同時測定が可能
    最大4320万ポイント/秒の高速3D測定を実現
    最大36000Hz(標準7930Hz)の高速測定が可能
    高分解能(最小25nm)
    繰り返し精度が高い
    許容角度が高い(最大90°±53°) 傾斜に強い
    インライン/オフライン対応可
    生産ラインへの組み込みが容易

    ◆アプリケーション
    ウェーハ表面・端面形状測定
    貼り合わせウェーハずれ量測定
    バンプウェーハ形状測定
    ワイヤボンディング後の形状測定(ワイヤループ/ワイヤボンド検査)

    ◆製品ラインナップ
    CHRocodile CLS2.0
    CHRocodile CLS2.0 PRO
    CHRocodile CLS

    測定レンジ、分解能、測定精度から各モデルで複数種の測定ヘッドをご用意