最新のミニマルシステムを20小間の広いスペースに動態展示いたします。
皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。
ミニマルファブ推進機構とファブシステム研究会及び産総研では、ミニマル製造装置群を開発し、試作向けには十分な商品として販売を行っています。本展時においては、10台ほどの装置群展示とリソグラフィーデモ及びYoutuberによるトークショーを行います。今回のキャッチフレーズは「エンジニアの育成と共に進化するミニマルファブ、未来の革新半導体産業を創ろう！」。見どころは次のとおりです。
●デモンストレーション
(1) リソグラフィー
ブース通路際に配置する３装置群（塗布装置→露光装置→現像装置）を使用し、１時間に１回程度の割合でものづくり（デバイス加工プロセス：「リソグラフィーデモ」）を実演します。自動搬送システムも併せて実演、紹介いたします。
(2) Youtuberによるトークショー
ものづくり太郎氏、東芝公式Youtuberの大幸秀成氏の人気Youtuberを迎えて、製造業を元気にするようなトークショーを行いますので、是非ともご覧ください。