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日本レーザー

新宿区,  東京都 
Japan
https://www.japanlaser.co.jp
  • 小間番号5733

レーザー光と光学を応用した新しい検査/解析技術の他、装置や設備に組み込み可能な測定、計測技術を紹介致します。

ガラス基板、シリコン・ウェハ、フォトマスク、ハードディスク基板上の欠陥、異物の検査、解析に最適な製品や、1台のヘッドに3機能を搭載した多機能な3D測定顕微鏡を出展いたします。

  • 高速レーザー・スキャニング欠陥検査装置 (Lumina Instruments社) 
  • ナノスケール赤外分析装置(Molecular Vista社)
  • 3D測定顕微鏡(Sensofar Metrology社)           

その他、以下の製品も併せて紹介致します。

  • 超高真空対応、組み込み用レーザー干渉式変位センサ(attocube社)
  • 超高真空、非磁性対応ナノ位置決めステージ(attocube社)
  • 半導体リサーチ用AFM(CSI Instruments社)
  • 高精度・多層膜・非接触 膜厚計(Bristol Instruments社)
  • ツインエアー方式高精細ディスペンサ(エンジニアリング・ラボ社)
  • 飛行時間型ガス分析装置(Spacetek Techonology社)