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東朋テクノロジー

稲沢市下津下町東,  愛知県 
Japan
http://www.toho-tec.co.jp
  • 小間番号5326


東朋テクノロジーの応力測定機・膜厚測定機・ホール効果測定機を展示します。是非お立寄り下さい。

弊社は応力測定装置・膜厚測定装置・マクロ検査装置・ホール効果測定装置を取り扱っております。「薄膜ストレス測定装置FLX」「光干渉式膜厚測定装置Tohospec」「ムラ・異物マクロ検査装置  Stealth」に加え、「ホール効果測定装置HL9900」「自動ウェハ全面膜厚分布測定機 FullFace」を初出展致します。一部装置の実機展示も御座いますので、是非弊社ブースをご覧下さい。


 プレスリリース

  • 弊社は応力測定装置・膜厚測定装置・マクロ検査装置・ホール効果測定装置を取り扱っております。「薄膜ストレス測定装置FLX」「光干渉式膜厚測定装置Tohospec」「ムラ・異物マクロ検査装置  Stealth」に加え、「ホール効果測定装置HL9900」「自動ウェハ全面膜厚分布測定機 FullFace」を初出展致します。一部装置の実機展示も御座いますので、是非弊社ブースをご覧下さい。

 出展製品

  • 応力測定装置 FLXシリーズ
    ・応力測定専用機として世界シェアNo.1 ・高温・低温測定、3Dマッピング等解析機能多数 ・幅広い分野での納入実績、論文掲載 ...

  • さらなる高速化、高集積化が進む半導体分野において、基板および成膜材料の開発、選定、管理はこれまで以上に重要となっており、成膜プロセスではよりシビアな条件出し、品質管理が求められています。FLXシリーズはその成膜プロセスで発生する膜応力を測定、解析する装置です。
  • 膜厚測定装置 TohoSpecシリーズ
    ・様々な膜種の測定に対応 ・シンプルな操作で測定が容易 ・光学定数(n,k)の測定も可能 ...

  • 高精度膜厚測定のスタンダード機として長年の信頼と実績を持つNanoSpec3000シリーズ(旧Nanometrics社製)の正式後継機としてTohoSpec3100シリーズをご提案。より操作性の高いソフトウェアへの更新など、さらに利便性が向上した新たなスタンダード機を是非ご活用ください。標準膜測定モデルの3100と厚膜測定モデルの3100Tをご用意しております。
  • ホール効果測定装置  HL シリーズ(初出展)
    ・様々な形状のサンプルを測定することが可能 ・幅広い分野で多数の納入実績 ・Bio-Rad社から続く、歴史の長い装置 ...

  • HL9900は半導体の抵抗率、キャリア濃度、移動度の測定が可能な高性能ホール効果システムです。アップグレードが容易なモジュール式の設計コンセプトを採用。シリコンや化合物半導体など、様々な材料の測定に適しています。
  • マクロ検査装置 Stealth
    ・全面高速に膜の均一性を可視化検査 ・柔軟な設計対応でニーズにお応え ・ベアウェハ上で最小300nmのPSLを1スキャンで可視化 ...

  • 薄膜マクロ外観検査装置「Stealth」は、ウェハ・FPD基板上に成膜された膜厚異常や洗浄・エッチングによる残渣を、基板全面に対して一括で高速・高感度に撮像し評価を行う装置です。目視検査から自動検査にすることで、検査のバラつきをなくし、定量評価できるようにします。また、ベアウェハ上最小300nmのPLSを1スキャンで可視化検査。

  • 自動ウェハ全面膜厚分布測定機  FullFace シリーズ(初出展)
    ・ウェハ全面を高速に膜厚測定 ・スポット膜厚計では難しいウェハ全面の傾向がわかる ・自動搬送対応モデル ...

  • ウェハ面内の膜厚ムラを全面高速に実測します。また、薄研磨ウェハの厚さ均一測定できるモデルの準備も御座います。どのモデルも300mmまでの自動搬送対応可能です。