クリエイティブテクノロジー

一般的な静電チャックは電圧供給時に対象物を吸着し、電圧を遮断すると対象物が外れる仕組みのため、使用する際は静電チャック本体を常時電源に接続しておかなければなりません。すなわち、長距離の搬送、大気環境から真空チャンバーへの移動、回転機構での使用など用途によっては適さないケースも存在します。

一方、静電キャリアは静電チャックの特長を応用した新しい吸着方式であり、対象物の脱着時にこそ電源との接続を必要とするものの、吸着を維持する際には電圧供給を必要としないため、電源から切り離して使用することが可能です。静電キャリアは、これまで両面テープやクランプ方式が採用されていた工程の自動化・効率化・ランニングコスト削減に貢献します。

・従来の静電チャックの技術を応用し、ケーブルレスでの吸着搬送を可能に。

・エアーの移動をともなわない静電吸着の為、吸着状態で大気環境⇔真空チャンバーへの移動が可能。

・損傷しやすい薄物のガラスやウエハーや金属箔をはじめ、フィルムや紙などさまざまな素材への適応が可能。

製品のおもな特長

① 真空プロセスで実績のある材料で構成

半導体製造装置向けの静電チャックと同じ材料で構成されているため、汚染やパーティクル管理の厳しい真空プロセスにおいても使用可能です。

② 長時間の保持にも対応

シリコンウェハーやガラスといったスタンダードな吸着対象物においては、無給電状態で240時間以上もの連続吸着を確認しています。

③ 繰り返し使用できる

静電キャリアは繰り返しの使用が可能です。外傷や消耗等により使用できなくなった場合には修理や再生も可能で、環境にも優しいツールです。

④ オーダーメイド設計に対応

一般的な静電チャック同様に、用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類など、お気軽にご相談ください。

ダストの噛み込みによるエラーを防止

独自の柔軟な特殊樹脂の実装により、ステージの表面はもちろんのこと、空気穴のエッジ面に付着したダストをも捕捉し、パーティクルによるエラーを未然に防止。

メンテナンス時間の大幅削減

ダミーウェハとしてクリーニングウェハをラインに流すことにより、製造ラインをストップさせることなくステージ表面に付着したパーティクルのクリーニングが可能。メンテナンス時間の大幅短縮を実現。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

定期的に工業用アルコール（IPA）等を含ませたワイパーで付着したパーティクルを拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。

１９８５年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。
１９９０年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに２０００年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。

そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。

クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。

また、クリエイティブテクノロジーでは、初めて自動化・省人化をご検討する企業や工場に向けた、「静電チャックとロボットの一括提案」が可能です。

ファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズは、豊富なバリエーションと低コスト化の実現により、すでに国内外の多くの企業に導入されています。クリエイティブテクノロジーは韓国 ZEUS社の正規代理店として、日本のお客様に対しファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズをご提案してまいります。

吸着テストから、実導入に関するロボット側の可搬重量、静電チャック専用電源との兼ね合い、リリース機構、周辺機器サポート等、あらゆる分野の自動化・省力化・IoT化をお手伝いします。

ミクロンサイズ以下のパーティクルに効果的

パーティクルコレクターは、対策が難しいとされるミクロンサイズ以下の微細な異物をターゲットにした、静電吸着式のツールです。 一般的なフィルターが通過させてしまうような小さなパーティクルを、電気的な力で静かにキャッチします。パーティクルの種類や材質は問いません。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

非接触式だから繊細な環境でも使用可能

パーティクルコレクターにはいくつかのタイプがありますが、いずれも対象物やその周辺部材への接触を必要としません。直接触れると傷つきやすい繊細な製品の生産工程であっても、安心してご使用いただけます。 パーティクルがキャッチされる様子は本ページの動画からご覧いただけます。

AC100Vで駆動

パーティクルコレクターは高電圧を使用した製品ですが、専用電源も自社にて開発を行っているため、AC100Vのコンセントで駆動するよう設計しています。タイプにより内部電源、外部電源のものがあります。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

定期的に工業用アルコール（IPA）等を含ませたワイパーで拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。

反ったウェハ―の搬送、高速搬送に実現に

弊社のIonPadは、一般的な滑り止めPadより高い水平把持力を発揮する事が可能な為、反ったウェハの搬送や裏面膜がついたウェハ搬送工程に効果的なPadとなっております。またPadの高い把持力により高速搬送を実現します。

高純度樹脂パッドを採用

対象物保持のために粘着テープを用いると、剥がした際の残留物質がしばしば問題になります。 IonPadは粘着物質ではありませんので、対象物側への物質残留が問題になりにくい設計です。

設備変更なしに導入可能

IonPadは自由に成型、施工が可能なPadの為、今現在御使用のハンド、エンドエフェクターに対してIon Padを施工頂くだけで搬送を改善する事が可能となります。