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25年以上に渡る特殊ウェーハ搬送の専門メーカがあらゆる薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)の搬送問題を解決します。
☆「特殊ウェーハ搬送問題を解決します!」
一般的に取り扱いが困難とされる、極薄・反り・歪み・微細加工(穴あき)・両面デバイスウェーハの搬送問題を解決いたします。
今回新たに、外観検査用ウェーハ非接触ステージの実機展示も行います。
パワーデバイス工程で使用されるTAIKOウェーハの表裏非接触搬送が可能なロボットハンドやピンセットなども展示いたします。
ロボットハンド用FORK、ステージ間搬送用CIRCLE、ウェーハ矯正ステージ用CIRCLE等、様々なハンドを取り揃え、顧客殿のウェーハ搬送の目的やウェーハの癖に合わせて全てのハンドをご提案いたします。
☆ウェーハ搬送装置のご提案
KUMADEハンド同様、顧客仕様、顧客のウェーハに合わせて全ての装置をご提案いたします。
特殊ウェーハに特化した長年の実績により、累積122台のウェーハ移載装置・梱包装置(2~12インチ)の実績が有ります。
☆ウェーハローダ―ユニットのOEM供給
例えば検査機器メーカ様の検査ユニットに弊社のウェーハローダユニットを供給いたします。
全て顧客殿の使い勝手の良いようカスタム仕様にて対応いたします。
☆ドライクリーニング装置のご提案
ウェーハプローブ工程前にウェーハ上の異物クリーニングを行います。
本装置の導入によりプローブ工程での不良率低減、及びプローブカードの破損を未然に防ぎます。
☆ウェーハマクロ検査装置のご提案
TAIKOウェーハの表面(プロセス面)及び裏面(グラインド面)に触れる事無く、浮上保持搬送が可能です。
追加仕様で未研削ウェーハも同様に浮上保持搬送が可能となり、1本のハンドで3種類の異なる形状のウェーハに対応することが可能です。
ウェーハ出荷管理や入荷管理時に必要なマクロ検査とソーターを一体化
裏面処理の必要なTAIKOウェーハをカセットからカセットへ表裏反転移載を行います
全て顧客仕様に基づき、ウェーハの移載、並べ替え、梱包、開封等の装置製作が可能です。
顧客殿のウェーハ形状、反り等、様々な癖を診断し構想提案いたします。