超音波モータHRシリーズ
Nanomotion社で最も実績のある超音波モータ。
出展ブースでは、ステージの高速移動と精密位置決め（10nm）のデモを行います。
HRモータは標準モデル（-S）のほか、真空モデル（-V）、高真空・非磁性モデル（-U）、非磁性モデル（-N）、真空・非磁性モデル（-VN）と環境に応じたモデルを選択できます。
| モデル |
HR1 |
HR2 |
HR4 |
HR8 |
| 最高速度 |
250mm/sec |
250mm/sec |
250mm/sec |
250mm/sec |
| ステップ分解能（AB2ドライバ使用時） |
1nm |
1nm |
1nm |
1nm |
| 最大駆動力 |
3.5-4.5N |
7-9N |
15-18N |
30-36N |
| 静止保持力 |
3.5N |
7N |
14N |
28N |
| 非通電時剛性 |
0.8-1N/μm |
1.4-8N/μm |
2.3-2.8N/μm |
3.3-3.8N/μm |
| 最大消費電力 |
5W |
10W |
20W |
40W |
使用できるモータドライバ：AB1A、AB2，AB4、AB5、AB7
使用できるNanomotion製コントローラ：XCDドライバ/制御ボード