日本セミラボでは、皆様の研究開発のお手伝いをするべく、様々な測定装置を取り揃えております。
【キャリア分解型ホール効果測定装置：PDL-1000】
IBMの開発したParallel Dipole Magnet方式による、コンパクトで高感度のAC磁界式ホール測定装置です。
オプションのCRPH（Carrier Resolved Photohall）を持ちいることで、少数キャリアの情報を分離することも可能です。
【卓上型分光エリプソメーター：SE-2000】
エリプソメーターのパイオニアである仏Sopra社の技術を受け継いだベストセラー機です。
深紫外から中赤外のスペクトルをカバーし、高精度測定が可能な回転補償子を搭載したエリプソメーターです。
【DLTS（Deep Level Transient Spectroscopy）測定装置：DLS-1100/83D】
ウェハープロセス時に生じる金属汚染およびダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度で測定できます。
オプションのクライオスタッドにより、80K~800K（LN2式オプション）、30K~325K（He式）の温度変化を得ることが可能です。
【拡がり抵抗測定装置：SRP-2100/170】
SRPでは、Siデバイス全体のキャリア濃度、抵抗率プロファイルを確認できます。
電気抵抗、シート抵抗、抵抗率、ドーピング濃度、キャリア密度の測定が可能です。