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日本ベーカーヒューズ

中央区,  東京都 
Japan
http://Druck.com/jp
  • 小間番号5802


圧力計測のドラックと分析計＆流量計のパナメトリクスが出展します。 東５ホール入ってすぐのブースでお待ちしております。

ドラック事業本部：Druckからは、新製品のポータブル・ハイブリッド圧力コントローラPV624のデモを予定。現場での圧力校正にに最適な高速・高性能な圧力校正器です。半導体用の圧力ソリューションに必要な高精度なセンサもご紹介します。

パナメトリクス事業本部：半導体工場で多数実績のあるPanametricsからは、マルチチャンネルタイプの微量水分および微量酸素を連続測定可能な分析計、トランスミッタ型の電気化学式酸素計をご紹介します。また、工場のユーティリティで配管を切断することなく使用できるクランプオン式超音波流量計もデモを交えてご紹介します。

 出展製品

  • Druck ポータブルハイブリッド圧力コントローラPV624
    ドラックから手動と完全自動のハイブリッド圧力コントローラーPV624が登場。制御安定性も抜群です。手動と完全自動の両方の機能を最適化したポータブルハイブリッド圧力コントローラーです。 最初に手動で一定圧力まで加圧したあとは自動的に加圧、微調整まで可能。安定性に優れ、短時間に高い圧力を生成できます。正圧、負圧の圧力の切り替え操作も簡単です。...

    • 東５ホール入ってすぐのブースで、製品の操作性を体験できます。お待ちしています。
  • Druck PACE 圧力コントローラ
    業界最速クラスの圧力校正器。モジュール式でライン停止時間を短縮、設備コストを低減します。新しいピエゾ抵抗式センサを採用することで、計測への更なる高精度化と長期安定性、また高い制御安定性を同時に実現できる圧力コントローラです。 各種試験プログラムも設定できます。...

    • 【仕様】
    ○ゲージ圧：2.5 kPa(g)レンジ~21 MPa(g)レンジ（負圧校正標準）
    ○絶対圧 ：大気圧オプションと組み合わせによる補正方式（擬似絶対圧）
    ○通信インターフェーズ：RS-232C, IEEE-488(GPIB), USB
    ○電源：90～130V、180～260VAC@47to63Hz
    ○重量：
    　・PACE 5000シャーシ（シングルチャンネル）：5 kg
    　・PACE 6000シャーシ（デュアルチャンネル）：6.7kg
    　・CM 制御モジュール: 5kg12.5kg

    〇PACE 制御モジュール
    PACE CM0：標準精度
    PACE CM1： 精度向上
    PACE CM2：プレミアム精度
    PACE CM3：基準精度

  • Panametrics 液体流量計 PanaFlow GC868
    配管を切らず、多種多様なガスの測定が可能 設置コストやメンテナンスコストの大幅な削減が可能。配管を切りたくない特殊なガスから天然ガス供給ラインまで、圧力損失ゼロで流量測定が可能。特に低圧気体にも対応し、広いレンジアビリティを持つ測定対象に最適。 ...

    • ＜特長＞
    • クランプオン式の非接触な設置
    • 接ガス部なし
    • 2 チャンネル/2 系統バージョンも対応可能
    • 機械的可動部なし
    • 圧力損失なし
    • 音速出力
    • 簡単な設置
    • 標準体積流量
    • 超圧縮性補正
    • 広範囲の温度と圧力に対応
  • Panametrics 超音波液体流量計『AT600』
    高性能・低価格を両立！4ステップ固定で簡単設置！さまざまな口径・材質に対応 『AT600』は、満管状態で流れた水・超純水・処理水・廃水などの流量を非接触で測定できる超音波流量計。 長期にわたりドリフトのない測定が可能なほか、 4ステップで完了する設置のしやすさが特長です。 また低価格化を実現しており、初期費用にかかる負担を軽減できます。...

    • 【特長】
    ■測定設定が簡単
    ■さまざまな配管口径・材質に対応
    ■可動部分がなくメンテナンスがほぼ不要
    ■読み値の±1％の高い測定精度

Categories

202 装置、一般用途
  • 真空乾燥/ガス排気システム
    • 204 装置、MEMS
  • 深堀ＲＩＥエッチング/ドライエッチング
    • 207 装置、プロセス
  • イオン；電子線ミリングエッチング装置
  • エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
  • リソグラフィ；露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
  • 積層化：化学的気相成長（ＣＶＤ）/MOCVD/ PECVD/ LPCVD/ ALD/ REALD/ MVD
  • 積層化：物理的位相成長 (PVD)/ スパッタ/蒸着装置
    • 307 材料、プロセス
  • CMP/グラインド/ラップ/研磨/研磨剤
    • 308 材料、基板
  • 試験/モニターウェーハ：再生またはバージン
    • 400 部品、パーツと付属品
  • センサ
  • 流量調節計-バルブ；メータ-、ゲージ、レギュレータ、流量計（MFC）
    • 401 サブシステム
  • 油圧システム
  • 温度制御；再循環器/冷却機/熱交換機
  • 空気圧システム/空気圧ロータリースピンドル
  • 露光；発光源-レーザ/ランプ/X線/他
    • 500 工場のモニタリングと制御システム(FMCS)
  • ガス及び他の生成装置
  • ガス取扱い-キャビネット/管理/供給システム
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  • HVAC；温度/湿度システムとコントロール
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