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浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
微細パーティクル/微細欠陥検出にお困りの方に、レーザ励起プラズマ光源・InGaAsカメラを提案します。
弊社のレーザ励起プラズマ光源は優れた輝度と波長範囲・寿命特性を持ち、検査工程の時間短縮・精度向上に貢献します。InGaAsカメラは950 nm～1700 nmの近赤外波長領域に高い感度を持ち、14 bitの画像取得や露光時間の調整が可能なUSB 3.0インターフェースを装備しています。
紫外線・赤外線・X線・電子線などの波長域に対応した受発光デバイスにより、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。
プロセスのリアルタイムモニタリングにお困りの方に、膜厚計・プラズマプロセスモニタを提案します。
弊社のOpticalGaugeシリーズは、多層/積層・インラインでの膜厚計測において非接触で高速かつデフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。
プラズマプロセスモニタはプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出することにより、プラズマ種推定や混入不純物・異常放電の監視等に貢献します。
分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。
Optical NanoGauge 膜厚計 C15151-01 は、分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。 高出力で高安定な白色光源を採用したことにより、超極薄膜の膜厚測定が可能になりままた、光源は10 000時間の寿命を有しております、インライン運用に適しています。
半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。
各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。