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東京計装

港区,  東京都 
Japan
https://www.tokyokeiso.co.jp
  • 小間番号5627


半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。

 弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測・制御機器をご紹介します。
 


 出展製品

  • クランプオン超音波流量計 UCL/SFC010C.011C
    UCL/SFC010C.011CはPFA配管用のクランプオン超音波流量計です。 既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能なため、配管の施工が不要です。 配管内は実質的にクリーンに保たれます。 半導体製造装置等のクリーン度を要求されるプロセスに最適です。...

  • 検出器:UCL(大口径・小口径)
    変換器:SFC010C(1CH)、SFC011C(6CH)
  • PFA一体形超音波流量計 UFシリーズ
    UFシリーズストレートはPFAチューブを採用した表示付きの変換器一体形超音波流量計です。 超純水・純水・水の流量管理に加え、半導体製造プロセスの薬液にも対応します。 ...

  • 150L/minまでの流量測定が可能

    溶着レスで液溜まりのない構造