実機展示> マイクロパーティクルピッカー『CAP-series』
▼特徴
■ Φ2μm程度の微小なパーティクルまで検出可能
■ FOV10㎜角のワンショット検査
■ 徹底したクリーン構造の装置
■ ゲルスティックは位置、荷重制御によりデバイスダメージ無し
■ ゲルスティック自動交換機能搭載
■ ゲルスティックメーカーのトレイをそのまま稼働中にセッティング可能
■ 設置スペース効率の良い小型な装置サイズ
■ インライン接続用のバッファコンベアも装備可能
※検出能力は対象ワーク・パーティクル形状に依存するため、事前の評価が必要です。
※0.5~1μmの検出にも対応する高分解能仕様も開発中です。
【販売元】 株式会社PFA
〒350-0286 埼玉県坂戸市千代田5丁目7番1号
営業部 TEL : 049-280-5005