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ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。
● ウエハ向け形状測定システム【 Dyvoce（ダイボス） 】 ・ 小口径から大口径まで測定可能 ・ SEMI規格対応 ・ 自重たわみ補正による真の形状評価 ・ 枚葉機/自動機 ・ 応力解析：形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析 ・ TAIKOウエハ形状測定（自動機のみ） ● ウエハアライメント用ステージユニット【 RST Aligner 】 ・ テーブルサイズ自在 ・ 大口径透過穴対応 ・ XYZθ軸 ・ 100nmピッチの往復ステップでもフィードバック不要
・大口径透過穴
構造上、透過穴サイズに制約をもたらすﾍﾞｱﾘﾝｸﾞを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。
・テーブルサイズ自在
駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、形状を自由に設計できます。
・カスタム対応
高耐荷重仕様、外観色の変更など、お気軽にご相談下さい。
駆動ユニットにダブルクサビ方式を採用し、これまでカスタムで追加していたZ駆動/チルト駆動が可能になりました。
φ350㎜サイズ、φ500㎜サイズを実機展示/デモ駆動を行いますので、是非会場にてご覧下さい。