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神津精機

川崎市麻生区,  神奈川県 
Japan
http://www.kohzu.co.jp/
  • 小間番号1933


ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。

● ウエハ向け形状測定システム【 Dyvoce(ダイボス) 】
・ 小口径から大口径まで測定可能
・ SEMI規格対応
・ 自重たわみ補正による真の形状評価
・ 枚葉機/自動機
・ 応力解析:形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析
・ TAIKOウエハ形状測定(自動機のみ)
● ウエハアライメント用ステージユニット【 RST Aligner 】
・ テーブルサイズ自在
・ 大口径透過穴対応
・ XYZθ軸
・ 100nmピッチの往復ステップでもフィードバック不要


 出展製品

  • ウエハ形状測定システム【Dyvoce(ダイボス)枚葉機】
    φ2~12インチウエハの反り・厚みを測定。自重たわみ補正による真の反り形状・反り量を評価可能。形状データから応力解析も可能...

  • 枚葉機ではφ2~12インチに対応。
    SEMIじ準じた測定項目を出力し、反り測定ではウエハの自重たわみを補正して真の反り形状・反り量を算出して評価可能です。
    その結果から、ベア/成膜応力の解析アプリも用意。
  • ウエハ形状測定システム【Dyvoce(ダイボス)自動機】
    φ2~12インチウエハの反り・厚みを測定。自重たわみ補正による真の反り形状・反り量を評価可能。形状データから応力解析も可能...

  • 6~12インチに対応。
    反り測定ではウエハの自重たわみを補正して真の反り形状・反り量を算出して評価可能です。
    その結果から、ベア/成膜応力の解析も可能。
    TAIKOウエハの加工形状測定も可能になっています。
  • 超高精度アライメントステージ【RSTアライナー】
    ・アライメント精度に必要不可欠なサブミクロン領域での高追従駆動が可能。 ...

  • ・大口径透過穴

    構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。

    ・テーブルサイズ自在

    駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、形状を自由に設計できます。

    ・カスタム対応

    高耐荷重仕様、外観色の変更など、お気軽にご相談下さい。

  • NEW‼ 超高精度アライメントステージ【RSTアライナー 6軸type】
    超高精度アライメントステージ「RSTアライナー」に、Z駆動/チルト駆動を追加した新製品を出展致します。従来の追従性(0.1μm、0.1秒)はそのままに、X・Y・Z・θx・θy・θzの6軸アライメントが可能となります。...

  • 駆動ユニットにダブルクサビ方式を採用し、これまでカスタムで追加していたZ駆動/チルト駆動が可能になりました。

    φ350㎜サイズ、φ500㎜サイズを実機展示/デモ駆動を行いますので、是非会場にてご覧下さい。