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ウシオ電機

千代田区丸の内,  東京都 
Japan
https://www.ushio.co.jp/jp/
  • 小間番号1828

未来は光でおもしろくなる

ウシオは、半導体製造プロセスのイノベーションに「光」で貢献いたします。

■出展内容

1.露光(一括投影露光装置、パッケージ基板用ステッパ)

2.洗浄(エキシマ光照射装置)

3.検査(卓上検査装置/SEM)


 出展製品

  • 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」
    ICパッケージ基板向け露光装置 先端パッケージ向けステッパUX-5シリーズ ...

  • <特徴>

    1)広い焦点深度により安定したパターニング形成

    2)広い照射エリアによる高生産性の実現

    3)プロセスマージンに拡大に寄与

  • 投影露光装置「UX-4シリーズ」
    ウェーハ向け露光装置(センサー、電子部品、水晶振動子、パワーデバイス他)...

  • <特徴>

    1) マスクダメージレス

    2) 高い生産性

    3) 広い焦点深度により、厚膜レジストも露光可能

    4) パワー半導体デバイスに使用されるTAIKOウエハに適したロボットアームとワークステージ

    5)イニシャルコストがi線ステッパーより安価で、かつランニングコストはi線ステッパー、

     プロキシミティに両方に対し優位性がある。