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お困り事はありませんか? 半導体分野にNo.1 & Only one 技術でお役に立ちます。
ターボ分子ポンプのカットモデルと合わせてタッチダウン軸受を展示。
また、高温用軸受の新バージョンを参考出展。
ますます微細化の進む半導体業界では、製造装置の生産性および低コスト要求は厳しさを増しております。
ジェイテクトはこれまでのEXSEV軸受のクリーン性、真空対応性などをベースに、さらなる改善を続けております。
2023年のSEMICON JAPANでは、ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受やウェハ搬送ロボット用の超薄肉軸受をはじめ、
特殊環境用軸受の軸受を展示しておりますので、是非ご来場ください。