Micro-Epsilon Japan

• 小間番号6938

弊社は1968年ドイツ創業の変位計、距離計の老舗オーソリティメーカーで、高品質な製品で日本のものづくりに貢献します。

静電容量式センサ、クロマティック共焦点センサならびに白色干渉計のライブデモを行います。また、白色干渉計では1台のセンサシステムでSiCなどウェハの厚さ測定が可能な新製品も出品致します。その他、ウェハの歪を測定し3D表示するパターンプロジェクション方式（フリンジ光）を採用したセンサシステムreflactCONTROL、誘電体フィルムの厚さを測定する静電容量式と渦電流式センサのハイブリッドcombiSENSOR、非接触赤外線放射温度計カメラなどを展示します。

ウェハの厚み、多層膜の評価ができる測定機、サブナノメートルの変位計、3D測定機まで様々な用途に向けの魅力的な高性能センサを紹介させて頂きます。また、真空下でご使用いただけるセンサも多数取り揃えています。

 プレスリリース

• 高濃度ドープ シリコンウェハの厚み測定をひとつのセンサで実現した『白色干渉計 IMS5420-TH24』を発売開始 (20231120)

  ドイツの老舗センサメーカMICRO-EPSILON社の日本法人Micro-Epsilon Japan株式会社は、この度、干渉の原理を用いたインラインでシリコンウェハの厚さ測定ができる高精度白色干渉計センサを発売します。ベアウェハから高濃度ドープウェハまで、上下で挟み込むことなく、ひとつのセンサで片側から1ナノメートル分解能で0.05から1.05 mmの厚さ測定を可能にしました。

  • ナノメートル分解能で0.05から1.05 mmの厚さが計測可能
  • ベアウェハーから高濃度ドープウェハーまで1種類のセンサで片側から厚さ計測を実現
  • 最大5層までの多層測定が可能
  • 最大6 kHzの測定レート
  • 最小分解能1 nmを実現
  • 超高真空対応（センサ/ケーブル）
  • 多彩なインターフェースに対応（EtherNET/EtherCAT/RS422/PROFINET/EtherNET/IP
  • ウェブブラウザによる設定、計測データの確認が容易

 出展製品