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本多電子

豊橋市大岩町,  愛知県 
Japan
https://www.honda-el.co.jp/
  • 小間番号3128


半導体製造に関わる超音波製品を展示します。

半導体ウェーハやハードディスク等の洗浄に適した高周波の超音波洗浄機、高温薬液に対応した超音波流量計をご紹介いたします。

展示予定製品

  • W-357BMシリーズ(高周波セパレート型バッチ式洗浄機)
  • W-357LMシリーズ(流水式洗浄機パルスジェットラインタイプ)
  • W-357-1MPG(流水式洗浄機ポイントタイプ)
  • W-357-1MQG-SKC(石英振動体型洗浄機)
  • WDX-600-Ⅱ(低周波セパレート型洗浄機)
  • HLF820(流量計)
  • HUS-10(ソニックモニター)
洗浄のお悩み、超音波技術のパイオニアが解決します。
本多電子は超音波一筋で65年。
多彩な洗浄機ラインナップより、お客様にぴったりな洗浄機をご提案します。
洗浄について、お困りごとがありましたら是非弊社ブースにてご相談ください。


 出展製品

  • W-357BM-1200
    サブミクロンのパーティクル除去に適したセパレート型バッチ式高周波洗浄機です。...

  • 主な用途
    ・磁気ヘッド洗浄
    ・シリコンウェーハ洗浄
    ・サファイアウェーハ洗浄
    ・半導体デバイス加工後の洗浄
    ・ハードディスク洗浄
    ・ダメージの出やすいアルミや鏡面研磨品等の洗浄


    対象の汚れ
    ・パーティクル
    ・フラックス
    ・薬液

    特長
    ・デジタル制御により、安定した発振が可能です。
    ・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。
    ・1W単位での超音波出力調整が可能です。

  • W-357LMシリーズ
    従来製品よりも小型・軽量化した流水式パルスジェットラインタイプの洗浄機...

  • 主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。

    この方式はポイントタイプと同様に、パーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。

  • W-357-1MPG
    主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。...

  • 定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機。

    水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。
    振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。

    ノズル交換時の発振器の調整が不要
    同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。

    出力監視
    RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。

  • W-357-1MQG-SKC
    2006年に石英振動体型超音波洗浄ユニットを世界で初めて実用化。 本方式では石英振動体に超音波を重畳させて半導体ウェーハを洗浄します。 バッチ式洗浄や流水式洗浄に比べて薬液使用量を削減できること、接液部が石英ガラスのみで、パッキン等のゴム材が接液しないため、高い清浄度を保つことが可能等の特徴があります。 また、石英振動体の形状を目的に応じてご用意することで、低ダメージ洗浄、大面積洗浄、べベル部(端面)やノッチ(ウェーハ端面の切り欠き)部の洗浄など、ニーズに応じた効果的な洗浄を行うことが可能になります。...

  • 特長
    微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄

    ■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します
    石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
    ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現します
    薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
    ■振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能。
    また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命に。

    用途
    レジスト残渣除去
    エッジング後、アッシング後のポリマー除去
    Gate電極洗浄
    CMP後の洗浄

  • WDX-600-Ⅱ
    低・中周波のセパレート型超音波洗浄機。 均一洗浄とダメージ軽減を両立し、ソフトからハードまで、用途に合わせた最適な洗浄力が得られます。...

  • 特長
    ◆ダイナショックモジュレーション(DM)方式により、洗浄ムラやダメージを低減し、精密洗浄から金属加工部品等のハード洗浄 まで、用途に合わせた洗浄力の選択が可能です。
    ◆DM変調度の選択により、槽全体に高い音圧で均一な超音波を発生します。これにより、ムラのない洗浄が可能です。

    用途
    金属・機械加工部品洗浄 精密機械加工部品洗浄
    プリント基板洗浄 太陽電池関連部品洗浄
    HDD部品洗浄 LCD部品洗浄 光学部品洗浄
    半導体関連部品洗浄 食品器具・医療器具洗浄