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大村技研

品川区,  東京都 
Japan
http://www.otec-jp.com
  • 小間番号3811


特殊・高圧ガスの配管技術と半導体技術が密接に結びつき、多岐にわたる事業を展開しています。

【半導体製造装置のトータルソリューション】

中古半導体製造装置の探索、調達から再生、立ち上げ、メンテナンスまで1社でワンストップサービスを提供します。

中古半導体製造装置の買取り・販売・再生(リファービッシュ)・立上げ・メンテナンス・サポート

【カスタム装置製作販売】

お客様のニーズに合わせた装置を設計・製作致します。

真空乾燥装置・クリーンオーブン・薬液エッチング装置・薬液剥離装置・薬液ドラフト・スピンドライヤー・スピンコーター・

排ガスライン評価装置

【ウエーハファウンドリーサービス】

半導体のフィールドで培った豊富な経験と信頼のネットワークを生かし、お客様の仕様に応じて受託加工サービスを提供します。

SOIウエハ販売・シリコンウエハ販売・パターニング加工・成膜加工(CVD、PVD)・サイズダウン加工

【FOUP対応ロードポート製作販売】

FOUP内のコンタミを抑制し、低湿度を維持するためにN2を流し流量制御・安定供給する事でFOUP内をクリーンに維持ます。

設置台数:16,000台 LPM開発/適用:100種類以上 特許登録:14件出願9件

【無蓄電池瞬間電圧補償装置販売

半導体製造工場などで「瞬低(瞬間電圧降下)を最小化する補償装置です。落雷などの自然的要因や、電力系統ダウンや大容量

負荷など、人為的要因による瞬低の被害を抑制します。瞬間電圧降下補償と監視機能を同時支援・1秒停電補償:SEMI F47

パワーワクチン規格準拠

【DC Clamp(Double Clamp) 販売】

二重ロックで微細振動でも完全ゆるみ防止(Leak完全防止)

【Interlock Bellows 製作販売】

腐食、酸化物の累積を防止したinterlock-Bellows

一重のMetal Bellowsは内部のガス及び流体の流れの際にBellows Corrugation形状により二重Vortexesが発生し、これによって

ガスの流れが不規則的に形成されることで、屈曲部にHume形状の副産物の沈殿が促進され、Bellows の寿命が短縮されます。

弊社のKF Interlock挿入形態のBellows は、この様な問題点を解決した製品で内部にInterlock を結合することで流体をLaminar

Flow形態に誘導し腐食酸化物の累積を防止します。


 出展製品

  • 中古半導体製造装置販売
    半導体製造の中古機を仕入れ販売設置搬入立上げを行います。...

  • 会場にてご説明いたします。

    弊社ブースへのご来場お待ちしております。

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