特殊・高圧ガスの配管技術と半導体技術が密接に結びつき、多岐にわたる事業を展開しています。
【半導体製造装置のトータルソリューション】
中古半導体製造装置の探索、調達から再生、立ち上げ、メンテナンスまで1社でワンストップサービスを提供します。
中古半導体製造装置の買取り・販売・再生(リファービッシュ)・立上げ・メンテナンス・サポート
【カスタム装置製作販売】
お客様のニーズに合わせた装置を設計・製作致します。
真空乾燥装置・クリーンオーブン・薬液エッチング装置・薬液剥離装置・薬液ドラフト・スピンドライヤー・スピンコーター・
排ガスライン評価装置
【ウエーハファウンドリーサービス】
半導体のフィールドで培った豊富な経験と信頼のネットワークを生かし、お客様の仕様に応じて受託加工サービスを提供します。
SOIウエハ販売・シリコンウエハ販売・パターニング加工・成膜加工(CVD、PVD)・サイズダウン加工
【FOUP対応ロードポート製作販売】
FOUP内のコンタミを抑制し、低湿度を維持するためにN2を流し流量制御・安定供給する事でFOUP内をクリーンに維持ます。
設置台数:16,000台 LPM開発/適用:100種類以上 特許登録:14件出願9件
【無蓄電池瞬間電圧補償装置販売】
半導体製造工場などで「瞬低(瞬間電圧降下)を最小化する補償装置です。落雷などの自然的要因や、電力系統ダウンや大容量
負荷など、人為的要因による瞬低の被害を抑制します。瞬間電圧降下補償と監視機能を同時支援・1秒停電補償:SEMI F47
パワーワクチン規格準拠
【DC Clamp(Double Clamp) 販売】
二重ロックで微細振動でも完全ゆるみ防止(Leak完全防止)
【Interlock Bellows 製作販売】
腐食、酸化物の累積を防止したinterlock-Bellows
一重のMetal Bellowsは内部のガス及び流体の流れの際にBellows Corrugation形状により二重Vortexesが発生し、これによって
ガスの流れが不規則的に形成されることで、屈曲部にHume形状の副産物の沈殿が促進され、Bellows の寿命が短縮されます。
弊社のKF Interlock挿入形態のBellows は、この様な問題点を解決した製品で内部にInterlock を結合することで流体をLaminar
Flow形態に誘導し腐食酸化物の累積を防止します。
出展製品