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三井情報

港区,  東京都 
Japan
https://www.mki.co.jp/
  • 小間番号2655

 出展製品

  • マスクレス露光装置
    デジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device:DMD）を用いた独自のパターン縮小投影で、世界で初めて最小画素１μmを実現。スキャンニング方式もシリーズに新たに加わり、処理能力がさらに向上。レジスト三次元加工が容易に行えるグレースケール露光は市場の新たなニーズに対応。...

    • マスクレス露光装置は、空間光変調器の一つであるデジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device : ＤＭＤ）を露光パターンジェネレーターとして採用し、フォトマスクの代用としてDMD上に映し出されたパターンデータをフォトレジスト上に縮小投影するデジタル露光装置です。パソコン上で作成した露光データを直接露光することができますので、自在に露光パターンを作成することができます。
  • Maskless Lithography System " DL-Series"
    The "DL-1000" is Maskless Lithography System without using photomask to the objects what you want to process. DL-1000 has been used in the fields about 70 systems as installed bases in Japan, Taiwan and Korea....

    • Nanosystem Solution's Features are:

    ・Coaxial optics for exposure and observation

    ・Pattern Exposure :  LPR 0.5µm - DFR for SAP process

    ・Grayscale Exposure: for nele Mold process.

Categories

207 装置、プロセス
  • リソグラフィ；露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
    • 300 材料、組み立て
  • パッケージ基板；ラミネート/フィルムベース
  • プリント基板（ＰＣＢ）/プリント配線基板（ＰＷＢ）
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