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マイセック

西春日井郡,  愛知県 
Japan
https://www.misec.co.jp/
  • 小間番号7506


出展社詳細検索いただきありがとうございます。 株式会社マイセックです。

半導体業界に初参戦!

他には無い特別なヒーター施工を行うことにより成膜装置用ガスの搬送をよりスムーズに!

チューブに直接ヒーターを編み込むことにより直接的な熱伝導性を実現し、温度ムラを解消。

さらにチューブのフレキシブル性のおかげで取り付ける際も場所を選ばない。

半導体向けチューブヒーターは熱効率と利便性を両立した未来の半導体向けヒーターです。

私たちは持続可能な未来を築く一環として、この製品を自信を持って提供します。

熱に関してお困りの際は一度ヒーターのプロフェッショナルにご相談下さい。


 プレスリリース

  • 株式会社マイセックは半導体製造工程等に使用する、高温ガスチューブヒーターを開発。2024年4月頃からの販売開始を予定しています。従来の高温ガス移送の工程では製造プロセスの配管に各種ヒーターを後付けすることが主流でしたが今回開発した高温ガスチューブヒーターはフレキシブル配管に新開発した最高使用温度300℃の被覆付きヒーターを直接編み込むことにより配管への熱伝導性を高め、配管内の温度ムラを低減させる事に成功しました。これによりチューブ配管内の固化を防ぎ、製造現場での歩留まり率の低減が期待されています。ヒーターを配管に直接編み込むことに加え、特殊な断熱材を使用することにより従来の後付けヒーターより、仕上がり外径を細くすることに成功し省スペース化を実現しています。また製品表面温度を95℃以下に抑えることで他設備への熱影響の低減に貢献します。開発した高温ガスチューブヒーターは電源電圧を100V仕様にすることによって製造ラインのみならず、ラボ内での実験といった工場以外での使用も可能となります。

    ■製品仕様

    電圧      :100[V]

    電力      :250[W]

    最高使用温度  :300[℃]

    寸法      :1.56m

    販売価格    :オープン価格

    実用新案登録番号:3209680

    ■会社概要

    商号   : 株式会社マイセック

    代表   : 代表取締役社長 間宮 康博

    本社営業所: 〒451-0072 愛知県名古屋市西区笠取町三丁目54番地

    SE事業部 : 〒480-0202 愛知県西春日井郡豊山町豊場字志水80番地

    設立   : 昭和50年4月14日

    資本金  : 1,600万円

    URL    : http://www.misec.co.jp


 出展製品

  • 高温ガスチューブヒーター
    マイセックは半導体デバイスの製造で最も重要な成膜工程用の配管ヒーターを開発。 これまでのヒーターシステムとは異なる方式で特殊ガスを加熱することで、均熱性と省スペース化に貢献。...

  • 従来の成膜装置では製造プロセスの配管にヒーターを後付けすることが主流でしたが、今回開発したシステムは配管にヒーターを直接組み込むことによって熱伝導性を高め、機差による温度のバラつきを解消します。

    これによりガス移送時における装置内で固化を防ぎ、ウエハーの歩留まり率の低減に期待されています。

    またヒーターを配管に直接組み込むことに加え、特殊な断熱材を使用することにより、従来のヒーター装置よりも仕上がり外径を小さくすることに成功し省スペース化を実現しています。

    特殊断熱材料はパーティクルの発生を最小限に抑えると同時に製品表面温度を95℃以下に抑えることで半導体製造プロセスにおけるコンタミネーションの低減や他部品への熱影響の低減に貢献します。

    今回開発した半導体向けチューブヒーターは電源電圧を100V仕様にすることによって工場のみならずラボといった多岐にわたる場所での使用が可能です。