ロータリージョイント(回転継手)は、工作機械、半導体、製鉄、食品、フィルム・ゴム業界など様々な業界でご使用頂いている製品です。
回転する軸(ロール、回転テーブル、ドローバー等)へ流体を通したい時に、固定された配管と回転する軸の間で流体をシールする機構を持った継手です。
半導体業界では、回転するウェハーを回転テーブル(プラテン)で真空チャックする際やテーブルを冷却する際、テーブルの端面にロータリージョイントを取り付けて頂いています。
また、ウェハー搬送時の駆動部分に取り付けられることもあります。
CMP装置等では、回転しながら研磨液を供給する際などに使用されています。
食品業界では、回転させながら飲料を充填する充填機やPETボトル成型機の金型温調用等でご使用頂いています。