”はかる”技術で未来を創る、技術革新を支える最先端計測ソリューションプロバイダーのブースへようこそ。
東陽テクニカは、“はかる”技術のリーディングカンパニーとして、最先端の計測ソリューションを国内外の産業界に提供しています。
本展では、「振動/変位計測」、「設備状態監視」、「物性評価」の3つの分野で、半導体の安定供給を実現するための施策の一つである「歩留まりの改善」に貢献する最先端技術をご紹介いたします。
1.振動/変位計測
半導体製造の各工程において、装置やウェーハの変位・振動を計測するシステムを展示します。ご紹介する製品は高精度かつ高分解能での検出が可能で、多くの半導体製造装置で活用されています。東陽テクニカは、センシングだけでなく、その計測および解析にも力を入れています。
2.設備状態監視
製造ラインが想定通りに稼働しているかを振動の物理量で管理する振動センサを展示します。設備の状態の変化をいち早く見つけることができ、製造ラインの急な停止や加工状態の変化を最小限に抑えるのに役立ちます。有線式とワイヤレス式があり、有線式振動センサは、米国PCB Piezotronics社製(以下、PCB社)の圧電型加速度センサをご紹介します。その他、USB型モバイルデータロガー、状態監視・解析ソフトなども取り扱っており、デモをご覧いただくこともできます。PCB社のセンサは高精度かつ、堅牢で、ラインアップが豊富という特長があり、高温下や極低温下、防爆エリアといった特殊な環境でも、安心して振動計測を行うことが可能です。また、ワイヤレス式振動センサは、米国Broadsens社製のセンサをご紹介します。ワイヤレスでありながら、25.6kHzという高サンプリング周波数でデータ計測ができ、それをワイヤレスでゲートウェイに送信できるという画期的な製品です。サイズも小さく、重量も50g程度と軽量です。ケーブルの敷設が不要なため、低コストで簡便に振動計測を行うことができます。
3.物性評価
半導体材料に求められる物性の良し悪しを評価する物理量として、キャリア移動度、キャリア濃度があります。これらを計測できる米国LakeShore社製のホール効果測定装置「M91型」と、半導体チップの集積回路の構造を解析するチェコ共和国のTESCAN社製「FIB-SEM」をご紹介します。
「M91型」はLake Shore社が特許(米国特許番号：9797965)を持つFastHall測定技術を搭載しており、ホール電圧測定中に印加する磁場極性を切替える必要がなく、半導体材料の比抵抗、キャリア密度(濃度)、移動度を高速で計測することが可能です。ホール測定に必要な電流源、電圧計、高速スキャナ(スイッチ)、計測制御ソフトウェアがコンパクトなワンパッケージに集約され、より高い精度、従来にない測定スピード、利便性を提供する画期的なオールインワンのホール効果測定器です。
「FIB-SEM」は、キセノン(Xe)プラズマイオンを用いることで従来のガリウム(Ga)イオンFIB-SEMと比較して50倍以上のミリングレートが可能となり、加工範囲最大1mmを実現しました。大容量3次元トモグラフィー像の取得やディレイヤリング解析にも対応しています。
出展製品