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Shanghai JHEAT Technology

上海,  上海市 
China
http://www.jieretech.com
  • 小間番号7726


捷熱科技にご注目いただきありがとうございます! 科学技術態度、生活温度。 捷熱科技は高精度の温度測定・制御製品に注力

上海捷熱科技有限公司は1家に集中して温度測定制御製品の設計、研究開発、生産と販売のハイテク会社で、捷熱科技は創立以来、一貫して「科学技術態度、生活温度」の理念を持って、全力を尽くして人材とその自主研究開発の革新能力を育成して、研究開発性能が優れて、高精度、高コストパフォーマンスの温度測定制御製品です。捷熱科技の技術チームはいずれも20年以上の温度測定・制御製品の設計、納品、製品制御の経験があり、温度測定・制御技術プランは多くの分野で幅広く応用されており、ハイエンドの測定・制御技術でのシェアが極めて高い。対象業種は半導体、量子、計量、電力、石油、化学工業、冶金、製薬、食品、交通など。「高精度温度測定・制御業界を深耕し、業界のベンチマークになる」ことが捷熱科技の発展の追求だ。われわれは温度測定制御技術の限界を絶えず探求し、先端科学技術の運用、革新と製品の研究開発を重視し、優秀な製品を絶えず社会に貢献し、社会にサービスを提供している。

捷熱科技のコア製品にはWaferウエハーワイヤレス温度測定システム、Waferウエハー有線温度測定システム、低温精密温度制御器、4チャンネルポータブル温度測定器がある。


 出展製品

  • Waferウエハの無線温度測定システム
    Waferウェハーワイヤレス温度測定システムはウェハーエッチングプロセス、環境のウェハーへの影響をキャッチすることができ、チップ制造の各重要なステップで直接、リアルタイムのウェハー温度測定を提供することができます。これらの包括的な温度データを使用して、プロセスエンジニアはプロセス条件を特徴付けて微調整することができ、プロセス装置の性能、ウエハの品質、およびスループットを向上させることができます。Waferウエハーワイヤレス温度測定システムは、先端製品の生産プロセスフローにおける温度変化を監視し。...

  • 製品の概要 

    Waferウェハーワイヤレス温度測定システムはウェハーエッチングプロセス、環境のウェハーへの影響をキャッチすることができ、チップ制造の各重要なステップで直接、リアルタイムのウェハー温度測定を提供することができます。これらの包括的な温度データを使用して、プロセスエンジニアはプロセス条件を特徴付けて微調整することができ、プロセス装置の性能、ウエハの品質、およびスループットを向上させることができます。Waferウエハーワイヤレス温度測定システムは、先端製品の生産プロセスフローにおける温度変化を監視し、技術的な封鎖を突破するために使用されます。 

    製品の特長

    1.精度が高く、応用が柔軟で、サンプリング速度が速い。

    2.スキャン速度は10Hzに達することができて、温度の精度は1mKに達することができます。

    3.無線通信方式を採用し、連続勤務時間が60分を超えないこと。

    製品パラメータ

    せいひんすんぽう

    直径300mm(12インチ)±0.2mm、厚さ775 μ m以下のウエハ

    おんどはんい 

    0 ~ 30℃

    おんどせいど

    1mK

    くりかえしそくていせいど 

    <0.3mK(3σ)

    センサー応答時間 

    ≤1s

    しゅうしゅつしゅうはすう 

    max.10Hz

    れんぞくどうさじかん 

    ≤60min

    センサー数

    出荷時は63個以上、賞味期限内は60個以上

    つうしんほうしき

    ワイヤレス

  • Waferウエハのゆうせんつうしん温度測定システム
    Waferウエハの有線温度測定システムは、先端製品の生産プロセスフローの中の温度変化状况を監視するために使用されて、ウエハエッチングプロセス、環境のウエハへの影響をキャッチすることができて、チップ制造の各重要なステップで直接、リアルタイムのウエハ温度測定を提供することができます。...

  • 製品の概要

    Waferウエハの有線温度測定システムは、先端製品の生産プロセスフローの中の温度変化状况を監視するために使用されて、ウエハエッチングプロセス、環境のウエハへの影響をキャッチすることができて、チップ制造の各重要なステップで直接、リアルタイムのウエハ温度測定を提供することができます。

    製品の特長

    1.精度が高く、応用が柔軟で、サンプリング速度が速い。

     2.スキャン速度は10Hzに達することができて、温度の精度は1mKに達することができます。

    3.有線通信方式を採用する。

    製品パラメータ

    せいひんすんぽう

    縦202mm ×横214mm ×(3層)高さ65mm

    おんどそくていはんい

    0 ~ 30℃

    おんどせいど

    1mK

    くりかえしそくていせいど

    <0.3mK(3σ)

    センサー応答時間

    ≤1s

    しゅうしゅつしゅうはすう 

    max.10Hz

    センサー数

    出荷時は63個以上、賞味期限内は60個以上

    つうしんほうしき

    有線

  • 広いスペクトル光源
    重水素ランプ、石英窓ハロゲンタングステンランプ、ロングアークキセノンランプなどの従来の放射校正光源は200nm-800nmの範囲内で高い出力を維持することができず、スペクトル測定範囲に非常に大きな制限がある。広スペクトル光源はフォトルミネッセンス原理を採用し、レーザー駆動ガスプラズマを利用して発光し、レーザー駆動を実現する。この光源は170nmから2100nmまでのスペクトル範囲で超高輝度の発光を提供することができ、しかも光源全体の発光寿命も従来の光源に比べて1桁高い。...

  • 製品の概要

    重水素ランプ、石英窓ハロゲンタングステンランプ、ロングアークキセノンランプなどの従来の放射校正光源は200nm-800nmの範囲内で高い出力を維持することができず、スペクトル測定範囲に非常に大きな制限がある。広スペクトル光源はフォトルミネッセンス原理を採用し、レーザー駆動ガスプラズマを利用して発光し、レーザー駆動を実現する。この光源は170nmから2100nmまでのスペクトル範囲で超高輝度の発光を提供することができ、しかも光源全体の発光寿命も従来の光源に比べて1桁高い。

    製品の特長

    1.  100 μ mオーダーの発光プラズマを実現でき、170 nm-2100 nmの波長範囲内で超高輝度を持つ、。

    2.  超高速測定、スペクトル放射輝度>10mW/nm/mm²/sr。

    3.  超長寿命、超安定性、超低コスト、高い光学的柔軟性。

    ハロゲンランプ

    ハロゲン電球

    キセノンランプ

    重水素ランプ

    広スペクトル光源

    広スペクトル

    高輝度

    あんていせい

    じゅみょう

    製品アプリケーション

    紫外可視光分光分析

    モノクロメータ光源

    はくまくけんしゅつ

    フィルタ/光学素子試験

    原子吸光スペクトル

    材料フィーチャーのチェック

    かんきょうかいせき

    こうぶんこうがぞう

    きそうぶんせきそくてい

    光センサ検出

    生命科学およびバイオイメージング

  • マスクの無線温度測定システム
    半導体チップの加工制造プロセスでは、フォトマスク版の表面の温度均一性は非常に高く、厳しい温度測定と制御が必要です。フォトマスク版の温度分布を正確に測定するためにマスク無線温度測定システムを使用する。...

  • 製品の概要

    フォトマスクは、フォトマスクとも呼ばれ、マイクロエレクトロニクス製造におけるフォトリソグラフィ工程で使用されるパターンマスタであり、不透明な遮光性薄膜により透明基板上にマスクパターンを形成し、露光によりパターンを製品基板上に転写する。半導体チップの加工制造プロセスでは、フォトマスク版の表面の温度均一性は非常に高く、厳しい温度測定と制御が必要です。フォトマスク版の温度分布を正確に測定するためにマスク無線温度測定システムを使用する。

    製品の特長

    1. 体積が小さく、精度が高く、サンプリング速度が速い。

    2. 温度精度は最大1mK、。

    3. 無線通信方式を採用し、応答時間が短く、収集頻度が速く、100分以上の連続稼働が可能だ。

    製品パラメータ

    せいひんすんぽう

    ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズ

    おんどはんい

    0 ~ 30℃

    おんどせいど

    1mK

    くりかえしそくていせいど

    <5mK(3 σ)

    センサー応答時間

    1秒以下

    しゅうしゅつしゅうはすう

    m ax.1Hz

    れんぞくどうさじかん

    100分以上

  • マイクロ無線温度記録装置
    小型無線温度記録装置は、小型で軽量で、持ち運びに便利です。露光装置、リソグラフィ装置等の温度検出記録に適しています。...

  • 製品の概要

    フォトリソグラフィシステムは製造チップのコア装備であり、その中で温度の検出は特に重要であり、温度はフォトレジストの流れに影響し、フォトリソグラフィの歩留まりに影響する。小型無線温度記録装置は、小型で軽量で、持ち運びに便利です。露光装置、リソグラフィ装置等の温度検出記録に適しています。

    製品の特長

    1. 体積が小さく、精度が高く、柔軟で汎用的である。

    2. 温度精度は最大10mK、。

    3. 無線通信方式を採用し、応答時間が短く、収集頻度が速く、10日間を超える連続稼働が可能だ。

    製品パラメータ

    せいひんすんぽう

    縦20mm ×横20mm ×厚さ10mm

    おんどはんい

    0 ~ 30℃

    おんどせいど

    10mK

    くりかえしそくていせいど

    <5mK(3 σ)

    センサー応答時間

    1秒以下

    しゅうしゅつしゅうはすう

    最大1Hz

    れんぞくどうさじかん

    10days以上

    つうしんほうしき

    ワイヤレス

    1セットの数量

    32