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省エネルギー対策チラー ： 年間電気量を低減し大幅なコストメリット
半導体工場
200㎜工場 老朽化チラーの置き換えによるコストメリット
300㎜工場 新規チラーに於ける省エネルギー効果及び温度コントロール強化による製造工程安定性
ＬＣＤ工場、後工程等
ペリクル ： 半導体、ＬＣＤ、ＰＣＢ等
品質の高いペリクル
第10.5世代向けペリクル (第10.5世代向け新工場量産開始2019年12月～)
PCB向けペリクル
その他 ： クリーニング装置、アニール装置、ダイシング装置等