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リオン

国分寺市東元町,  東京都 
Japan
http://www.rion.co.jp/product/particle/
  • 小間番号6214


リオンブースへようこそ!

20nmを測定可能な液中パーティクルセンサを展示します。フッ酸を含む薬液に対応するためサファイアセルを採用し、長年にわたり培った信頼性を受け継いでいます。

また、昨今話題になっている高粘度試料を、原液のまま粒子測定をできるようにした液中パーティクルカウンタシステムもラインナップしております。試料を希釈することなく測定ができるため、作業効率の改善、歩留まり向上に寄与します。

その他に、薬液中の30nm粒子を測定するKS-19F、フォトレジスト溶液中の0.1µm粒子を測定可能なKS-41B、超純水インライン測定用のKL-30A/30B、幅広い粒径をカバーするKSシリーズを展示し、液体中の清浄度管理をトータルサポート致します。気中粒子については、ハンディタイプから大流量のポンプを採用した一連の製品をご紹介します。ぜひ弊社ブースにお越しいただき実機をご覧ください。


 出展製品

  • 液中パーティクルセンサ KS-20F
    薬液中の0.02µm粒子を測定 フッ化水素酸にも対応...

  • ・最小可測粒径 0.02 µm
    ・セルにサファイアを採用
    ・豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応
  • 液中パーティクルセンサ KS-41B
    フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 µmから測定可能...

  • ・最小可測粒径 0.1µm、定格流量 5 mL/min
    ・粒径区分0.1 µm~0.5 µmの範囲で最大10段階
    ・多点監視システムに接続可能
  • 純水用パーティクルカウンタ KL-30B
    0.05µm、超純水の粒子汚染を監視。耐圧性に優れ、センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ...

  • ・最小可測粒径 0.05µm
    ・粒径区分 0.05~0.2µmの範囲で任意に10粒径を設定
    ・表示部 タッチパネル付きカラー液晶
    ・パージ流量 0.1~1L/minで可変式
    ・高耐圧 500kPa(標準)、700kPa(オプション)
  • 気中パーティクルカウンタ KC-24
    スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に...

  • ・半導体レーザ励起固体レーザ採用で、小型・軽量
    ・リオン多点モニタリングシステムへの組み込みや、チューブ多点システムの構築が可能
    ・測定データはCFカードに保存が可能(CSV形式)
  • ハンドヘルドパーティクルカウンタ KC-52A
    0.3 µm から10 µm までの 6 段階に粒径区分を拡充、トレンドグラフ機能の追加、データインテグリティへの対応といった機能の拡充、より素早くなった応答とシンプルな操作画面による使いやすさの向上など、ロングセラー製品KC-52からさらに進化したハンドヘルドパーティクルカウンタ...

  • ・粒径区分 0.3µm以上、0.5µm以上、1.0µm以上、2.0µm以上、5.0µm以上、10.0 µm以上
    ・タッチパネル式4.3インチカラー液晶
    ・定格流量: 2.83 L/min
    ・リアルタイムおよび履歴のグラフ表示
    ・データインテグリティ対応
    ・コミュニケーションドック(別売)を使用することで、USBメモリによるデータコピーおよび多点モニタリングシステムに対応