実績のあるクリーン化技術そして窒素置換の技術を融合、発展させた各種高機能ロードポートの展示を行います。
■出展製品のご案内
①ロードポートTAS300 Type：J1
TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程で使用されるFOUP（Front Opening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。オプションとして、FOUP内を窒素置換するシステム（フロントパージ、ボトムパージ）も搭載可能、これによりFOUP内を低酸素濃度・低湿度環境に維持します。
②高機能ロードポート各種
上記に加え、各種高機能ロードポートの展示を行います。
この機会に是非TDKブースにお立ち寄り下さい。