ナガセテクノエンジニアリング

＜用途＞

・薄ウエハのハンドリング
・ウエハ薄化
・Fab改造なく既存装置の活用

＜導入メリット＞

・瞬時の接着・剥離による高いスループット
・基盤への損傷を防ぎ、歩留まりを向上
・あらゆる形状、複数サイズに対応
・接着剤不使用で追加のクリーンステップ不要

H-Square社製の各種装置を展示デモいたします。

• ウエハ一括水平移載装置
• ウエハアライナー
• ウエハリフター
• ポータブル真空ピンセット
• 非接触ハンドリングツール
• ウエハ外縁ピック
• フォトマスク搬送ピック
• 各種プロセス用／搬送用カセット

様々なご要望にお応えいたします。

＜特長＞

・稼動後、短時間で清浄空間を実現します。
・作業空間が囲われていないオープン構造で作業がしやすい。
・作業空間のコンタミを素早く排出し空間内の清浄度を維持します。
・コンパクトで設置場所を選びません。
・研究室でも生産現場でも使いたい場所に設置が可能。

UC330型超音波スプレーコーターは、薄膜コーティングの研究開発または少量生産に最適な超音波スプレーコーターです。燃料電池用触媒コート膜、薄膜太陽電池、バイオセンサー用、半導体フォトレジスト塗布などの様々な用途に対応します。

＜特長＞

・特許取得済超音波スプレーノズル

・均一性: >95%

・膜厚：20nm～100ミクロン（材質により異なります）

・最大塗布材料使用率： > 85%

・塗布エリア：：300mm×300mm（UC330型）

・最大液体粘度: 20-30cps

・最大固体粒子サイズ: 10-20ミクロン

・流量: Max.50ml/min

・タッチスクリーン操作