弊社が特に得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、そして、新たに製品ラインナップに加わった精密位置制御装置を展示致します。
【表面検査】
◆原子間力走査型電子顕微鏡（AFM&SEM in situ測定） by Quantum Design North America
◇原子間力顕微鏡（AFM） by Nanosurf
◆散乱型近接場光赤外顕微鏡（Nano-FTIR） by attocube
◇4D光学プロファイラーデジタルホログラフィック顕微鏡 by Lyncee tec
【半導体プロセス向け】
◆マスクレス露光装置 by DMO
◇レジスト by Allresist
【精密位置制御】
◆電動リニアステージ・ロータリステージ・電動リニアアクチュエータなど by ZABER
ぜひ、皆様ご来場ください！
会場でお待ちしております。