ノベリオンシステムズ

【特長】
・完全メタルシールにより超高真空装置に対応
・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・ラジカルビームの発生に優れた，バイアス電極付きの誘電体引出グリッド

【装置仕様】
・接続真空ポート規格 ： ICF７０
・同軸コネクタ規格 ： N型
・適合マイクロ波周波数 ： ２．４５ GHｚ
・許容マイクロ波電力 ： 最大 １００ W
・冷却方式 ： 水冷

【応用例】
・MBE装置の窒素／酸素ラジカル源
・表面クリーニングのための原子状水素源

【特長】
・独創的な磁石構成による大容積ＥＣＲ磁場
・強力な冷却システムによるｋＷ級大電力動作
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト

【装置仕様】
・接続真空ポート口径 ： Φ１２０ ｍｍ
・接続導波管規格 ： ＷＲ３４０
・適合マイクロ波周波数 ： ２．４５ ＧＨｚ
・許容マイクロ波電力 ： 最大２,０００ Ｗ
・冷却方式 ： 水冷

【応用例】
・ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワー
・反応性イオンビーム加工装置（ＲＩＢＥ）のイオン源
・イオン窒化・酸化装置やＤＬＣ成膜装置のプラズマソース

【特長】
・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
・新開発の大型同軸導入端子（7/16型）による大電力マイクロ波駆動
・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
・新開発の長寿命ビーム電極

【装置仕様】
・ビームサイズ ： 幅１５０ ｍｍ
・ビームエネルギー ： １００～２，０００ ｅＶ
・ビーム電流密度 ： 最大 １０ ｍＡ/ｃｍ２
・接続同軸コネクタ規格 ： ＤＩＮ ７／１６
・適合マイクロ波周波数 ： ２．４５ ＧＨｚ
・許容マイクロ波電力 ： 最大５００ Ｗ
・冷却方式 ： 水冷

【応用例】
・ＭＥＭＳ構造体の高速ミリング形成
・磁気ヘッドのミリング加工
・高周波回路のトリミング調整 など

【特長】
・熱陰極を用いた大電流密度イオンビーム
・最適化された磁界設計による優れたビーム分布均一性
・完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整

【装置仕様】
・ビームサイズ：120mm×10mm(大型基板対応可能)
・ビームエネルギー：100～2,000 eV
・ビーム電流密度：最大10mA/㎠
・イオン化ガス：水素、窒素、希ガス など
・冷却方式：水冷

【応用例】
・MEMS構造体の高速ミリング加工
・磁気メモリの微細ミリング加工
・高周波素子の共鳴周波数調整

☆研究開発テーマがあっても設計ができる人材がいない・・・

☆現有の装置がうまく機能しないがどう改造していいかわからない・・・

☆新規事業を立ち上げたいがプラズマイオンビームについて専門知識がない

☆材料の表面処理・改質がうまくできない・・・

☆シミュレーションを使った高度な設計がしたい・・・

こんな事でお困りの時は当社にご相談ください！！