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半導体製造装置に欠かせないセラミックスを始めとした高機能材料加工品を様々な製造方法で提供致します。
半導体製造装置に向けた、高機能材料から通信、DDモーターまで様々な技術を紹介いたします。
①セラミックスをはじめとした高機能材料加工品
・アルミナなどの酸化物系
・窒化アルミ、炭化ケイ素などの非酸化物系
・光造形を用いた３Dプリンター
・SiCやダイヤモンドなどの加工を可能にした水レーザー加工技術
・CFRP、MMCなど軽量高剛性複合材
②DDモーター
・マイクロテックラボラトリー社 DDモーターユニット
③通信／制御
・モベンシス社製 ソフトモーション 最大128軸を産業用コンピューターで同時制御可能
・アルゴシステム社 Ethernet通信システム、パネコン
・HPシステムズ社 エッジコンピューティング
・MOXA 通信システム
など。
【セラミックス】
・半導体製造装置向け部品 ・フリップチップボンダー向けヒーターツール ・光造形技術を用いた３D造形品 ・ウォータージェット内にレーザー照射した「水レーザー」加工技術を用いた炭化ケイ素加工サンプル
【樹脂、特殊金属、コーティング】
・各種ポリイミド加工品サンプル。
・ハステロイ、純タングステン、モリブデン、タンタル等加工サンプル、微細加工サンプル。
・イオンプレーティング、樹脂コーティング、セラミックスコーティングなどコーティングサンプル。
・最大128軸のサーボモーターと各8000バイトのI/OをWindowsPC1台で制御可能
・開発用APIとして位置決め・加速度プロファイル・補間制御等豊富なモーション制御機能を提供
・リアルタイムOS、各種徹底ツール、シミュレーション機能やモーション解析ツールを同梱
・各種カスタマイズも可能な小型DDモーター。
・機構やロボットなどの構成部品を軽量・高剛性する為の各種複合材加工サンプル。
・お客様の仕様に合わせてカスタマイズ可能な産業用コンピュータ。