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液体気化供給システムのパイオニアとしてこれからも開発主導型企業を目指し、様々な産業の発展に寄与していきたいと考えています
マスフローコントローラ（Mass Flow Controller、MFC）は、半導体や液晶製造工程、その他電子デバイスの製造工程で使用される各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器です。気体及び液体の流量を体積ではなく質量で制御するため、温度や圧力に依存することなく、極めて高精度で流体を制御することができます。
また、近年増加傾向にある液体気化供給プロセスへ対応するべく、様々なシステム提案を行っております。