Levitronix® BPS高温ベアリングレスポンプシステムはマイクロエレクトロニクスウェットアプリケーションで繊細な液体の高純度プロセス用に設計されています。高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷用の冷却ループが付属されています。能動的な磁気浮上技術に基づき、モーターから生まれた磁界により、ポンプインペラは浮上または回転します。ギャップが広いため、可動部品間に機械的な接触が無く摩耗がありません。したがって、破損するベアリングやシール部分がありません。
インペラとケーシングは耐薬品性の高純度フッ素樹脂で作られています。流体の流量と圧力は、インペラの回転速度を電子的に調整することにより、正確に制御されます。
システムの利点
- 高温用途に最適: 最大220°Cの液温
- 最も清浄なポンプ: 業界実績より証明 – 半導体製造(およびそれ以降) で最も超高純度ポンプ！
- 金属汚染が非常に少ない: エア駆動ポンプより大幅に低い
- 低せん断設計: スラリーと繊細なめっき液に最適
- 脈動の無い送液: プロセスのための正確な、安定性と信頼性の高い流量と圧力
- 高い制御性と広い流量範囲: 流量性能に悩まされることのない - 非常に正確な流量と圧力
- 非常に長いMTBF (>100年): 非常に高い信頼性
- 最高のターンダウン率: 数ml/minから最大流量まで
- 省フットプリント: エア駆動式ポンプよりも大幅に小さい
- データ取得とデータ監視: スマートマニュファクチャリング用のスマートポンプ
- 低騒音と低振動: エアー駆動ポンプと比べて非常に少ない振動と騒音
- 統合PIコントローラ: フィードバックループを作れます
- 長い歴史: 25年以上の経験