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リソテックジャパン

川口市,  埼玉県 
Japan
http://www.LTJ.co.jp
  • 小間番号4146

リソテックジャパンは、半導体リソグラフィに関する評価機器やプロセス装置のメーカーです。

半導体リソグラフィ関連の製造装置や評価ツールをご紹介します。

Categories

200 装置、組み立て
  • デスペンス装置
    • 203 装置、検査及び測定
  • 分光計：フーリエ変換赤外分光（FTIR)/減衰全反射FTIR(ATR-FTIR)/オージェ電子(AES)/SIMS
  • 膜厚：厚さ/均一性測定/エリプソメーター
    • 207 装置、プロセス
  • クリーニング/洗浄/基板乾燥装置/ファブプロセス
  • コート/現像/レジストプロセス/搬送装置
  • スピンオングラス（SOG）/スピンオン誘電体（SOD)トラック装置
  • リソグラフィ；露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
  • 熱プロセス-拡散/酸化/アニール/RTA/RTP装置
    • 307 材料、プロセス
  • フォトマスク、完成版またはパターン付
    • 400 部品、パーツと付属品
  • リソ用光源
  • 非リソ用光源；全タイプUV;LED他
    • 603 シミュレーション、解析、モデリングソフトウェア
  • シミュレーション；特性評価/検証ソフトウェア
    • 700 製造サービス
  • マスク作成及びリペア
  • リソグラフ；パターン形成サービス
  • 測定；検査サービス
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