半導体製造設備用バルブ・継手メーカーです。米国ichor社の集積薬液供給システムを出品します。ご来場お待ちしております。
バルブ・システム製造 キッツエスシーティー【KITZ SCT】
KITZのグループ会社で半導体製造向けに特化した製品を製造・販売しております。
ソリューション提案型の企業で高純度ガス系、真空排気系のSUS製バルブや、薬液ライン向けのPFA製バルブ、これらを使用したシステムの開発、設計、製造をしております。また、生産性の向上や問題解決できる様々な製品が数多くございます。
- ALD製造装置用に最適なバルブ
- 安全対策機能があるバルブ
- お客様の問題・課題解決を実現するカスタマイズ対応
- 集積薬液供給システム IMS( 米国Ichor社製 )フットプリント削減
新製品情報
高温リプレイサブルバルブ ZD Series
シート脱着交換可能でかつ、高温環境下(200/250℃)で使用可能なダイヤフラムバルブです。
材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄することができます。詳細は当社ブース内の展示パネルをご覧ください。