当日、AOSでは半導体製造装置向け各種シール製品及び弊社最新技術による各種製品群を
展示・紹介致します。
ご多忙の処、誠に恐縮に存じますが、この機会に是非弊社展示ブースへお立ち寄り
いただきたく、皆様のご来場心よりお待ちしております。
【出展製品】
ⅰ. 低イオン溶出性に優れたゴムシール製品
◆特長：純水、酸性液等の各種液体に耐性を有し、且つ低イオン溶出性を示す
フッ素ゴム（FKM）によるシール製品
ⅱ. 耐プラズマ・耐熱性に優れたＯリング製品
◆特長：プラズマ照射下における重量変化率等が極めて低く、250℃以上の耐熱性も
有するパーフロロエラストマー（FFKM）によるＯリング製品
ⅲ. 摺動性・耐久性に優れたグリス・オイルレスゴムシール
◆特長：特殊ドライタイプ表面処理によるゴムシール製品