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・熱酸化膜加工
セーレンＫＳＴでは12インチまでのサイズで加工が可能です。
弊社にて在庫しているウェーハへの膜付き販売、ご支給基材への受託加工も可能です。
特殊な形状のウェーハへの成膜も開発致します。
・SOIウェーハ
セーレンＫＳＴでは、4、6、8インチのSOIウェーハを生産しています。
お客様の任意の構成：ウェーハの仕様、厚み（活性層/BOX層/支持層）、
ベア/加工済みウェーハ等ご支給品を用いたSOI化加工が可能です。