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タイコエレクトロニクスジャパン

川崎市,  神奈川県 
Japan
https://www.te.com/jpn-ja/home.html
  • 小間番号1222


TE Connectivity, Sensor Solutionsのブースへようこそ!

スイスに本社を置くTE Connectivity(「TE」)社は、安全性・持続可能性・生産性に優れた、つながる未来を創るグローバルな産業技術企業です。苛酷な環境にも耐えることが実証された当社の幅広いコネクタ製品やセンサ製品は、輸送・産業・医療技術・エネルギー・データ通信・家庭における進歩を可能にします。

TE Connectivityの一部であるTE Sensorsは、当社の純度の高い構造と専門知識を活用し、特殊な素材を使用した安定性と信頼性の高い幅広いセンサ製品を提供しているセンシングソリューションであり、タイコエレクトロニクスジャパン合同会社は、コネクティビティおよびセンサ分野において世界的なリーディングカンパニーであるTE Connectivityの日本法人です。

当社は、圧力・温度・フロー・湿度・水位・荷重・ロードセル・トルク・振動・慣性・速度・流体およびその他特性の用途を含む、半導体製造装置向けのセンサソリューションを出展します。


 出展製品

  • 各種センサ製品
    1) 媒体隔離型圧力センサおよびモジュール 2) 圧力トランスデューサおよびトランスミッタ 3) 温度センサ 4) 気泡検出センサ 5) ボードマウント用圧力センサ 6) 荷重センサ 7) ガス流量センサ 8) 真空圧力センサ...

  • 1) 媒体隔離型圧力センサおよびモジュール
    媒体隔離型圧力センサは、腐食性媒体との適応性が要求されるOEMアプリケーション向けに設計されています。センサパッケージはシリコンオイルを利用して、316Lステンレス製ダイアフラムからピエゾ抵抗シリコンMEMSダイで構成されるセンサ素子に圧力を伝達します。

    2) 圧力トランスデューサおよびトランスミッタ
    TEの圧力トランスミッタは、SEMI規格に準拠した半導体製造装置向けの最高要件を満たすように設計されています。
    オイルフリーのセンサ素子は、ステンレス製ダイアフラムに高温ガラスを融着した微細加工ピエゾ抵抗シリコン歪ゲージを採用し、要求の厳しい航空宇宙用途から生み出されたTE独自のMicrofusedテクノロジーを活用しています。 

    3) 温度センサ
    TEは、NTCサーミスタ、RTD、熱電対、サーモパイルを含む幅広い温度センサの技術と種類を取り揃え、接触および非接触用途の両方に対応しています。
    これらのセンサは、多様な素材で構成され、必要な設置インターフェースに従ってパッケージされており、ウェハ温度監視、流量制御、真空ポンプ、チラーなど、数多くの用途向けに広範な測定範囲、優れた精度と信頼性を提供しています。 

    4) 気泡検出センサ
    TE Sensorsは、非金属管の中を流れる流体における非常に微小な気泡を正確に検出する、超音波ToF(Time of Flight)計測原理を使用した侵襲的な非接触型の気泡検出ソリューションを提供することができます。 
    これらのセンサは、フォトレジスト塗布および現像、CMP、ウェハ洗浄の用途に適しています。 

    5) ボードマウント用圧力センサ
    ボードマウント用圧力センサは、通常プリント配線板(PCB)に取り付けられ、ロードポート、空気圧制御、ガスフロースイッチ、圧力レギュレータなどの用途で、気体や液体の圧力測定に使用されます。デジタル出力を提供するASICを搭載しています。

    6) 荷重センサ
    TE Connectivityは、独自のピエゾ抵抗シリコン歪ゲージを用いたMicrofusedテクノロジーに基づいた、荷重センサおよびロードセルセンサを設計・製造しています。当社のセンサは、ウェハハンドリング、ボンディング装置、ウェハプローバなどの用途向けに、耐久性と長期安定性を低コストのパッケージに組み合わせています。

    7) ガス流量センサ 
    TEのフローセンサは、高精度と低流量レンジで知られており、シリコンダイに直接流路を組み込んだ独自のマイクロチャネル設計により実現されています。
    この技術により、卓越したパフォーマンスと信頼性を提供します。 

    8) 真空圧力センサ
    真空圧力センサ(VPS)は、MEMSシリコンダイで気体の熱伝導率を測定するため、大気圧から10-4 barまでの真空レベルを高精度で検出します。