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住友重機械工業

Osaki, Shinagawa-ku,  Tokyo 
Japan
https://www.shicryogenics.com/
  • 小間番号4908

当社は一般産業機械から最先端の精密機械、さらに建設機械、船舶、環境・プラント機器までをカバーする総合機械メーカーです。

本展示会ではクライオポンプ、レーザアニール装置、真空ステージ、減速機を出展します。


 出展製品

  • クライオポンプおよび真空ロボット
    省エネに特化したクライオポンプ(実機展示)および真空ロボット(パネル展示)を行っておりますので、是非当社ブースへお越しください。 皆様のご来場を心よりお待ち申し上げます。...

  • クライオポンプおよび真空ロボット
  • レーザアニール装置
    ①SWA "Green/Hybrid" Laser series ②SWA "UV" Laser series...

  • ①深い活性化とダブルパルスプロセスにも対応した、高性能レーザアニール装置
       適用例) IGBT裏面活性化

       独自のダブルパルスプロセスを可能にした固体レーザと長波長レーザを搭載したハイブリットアニール装置です。 固体レーザの特徴である、高繰り返し高パルスエネルギ安定性、メンテナンスフリー、コンパクト設計を備え、半導体分野の次世代プロセスの開発を促進します。

    ②次世代パワーデバイス用レーザアニール装置
      適用例) SiCオーミック・コンタクト生成、活性化など

       非照射面の温度上昇を抑えつつ、メタル-SiC界面を高温に加熱し、OPTSWING※(独自の高速スキャン方式)でオーミック・コンタクトの生成を実現します。

  • 非接触変速機(参考出典)
    グリスレス、低騒音、高効率、低バックラッシュといった特徴を持つ変速機を参考出展致します。...

  • デモ品を展示しておりますので、是非お手に取って感触をお確かめ下さい。