プラズマ・サーモ・ジャパン

横浜市,  神奈川県 
Japan
https://premium.ipros.jp/plasmatherm/

• 小間番号4032

人類の未来に欠かす事が出来ない半導体デバイス。プラズマ・サーモ社は、プラズマ技術によってそれを支えております。

1974年に設立されたPlasma-Therm社は、高度なプラズマ処理装置の世界的なメーカーであり、ワイヤレス通信、パワーデバイス、MEMS、フォトニクス、先端パッケージング、メモリ・ストレージ、研究開発をはじめとする半導体市場にエッチング、成膜技術、熱処理、プラズマダイシング技術を提供しています。Plasma-Therm社の製品は世界中で採用され、高付加価値、信頼性、ワールドワイドなサポートで高い評価を得ています。また、北米、欧州、アジア太平洋地域に販売・サービス拠点を置き、グローバルかつ多様な顧客ニーズに対応しています。

クラスターツール：　https://www.plasmatherm.com/　　　ノン・クラスターツール：　https://corial.plasmatherm.com/en

また、以下が各個別製品の概要とリンクとなります。更にご質問等がある際には、ブースに商談席を準備しておりますので、是非、お越しください。

尚、ブースにてセミナーを致します。

場所：東４ホール　4032

内容：HDRFー高密度ラジカルで、ポリマー、HDIレジストを低温除去できる新技術の紹介。　KOBUS　FASTーCVDの成膜レートで、ALDライク成膜が可能な新技術の紹介。

スケジュール：

12月11日　10:30~10:50  HRDF             14:00~14:20 KOBUS FAST

12月12日   10:30~10:50  KOBUS FAST  14:00~14:20  HRDF

12月13日   10:30~10:50  HDRF             14:00~14:20  KOBUS FAST

◆　クラスターツールラインアップ

• VERSALINE® ： ICP, DSE, RIE, PECVD, HDPCVD
• LAPECVD™ : ラージエリアPECVD装置
• KOBUS FAST: 高速ALDライク成膜装置
• QuaZar™ : イオンビーム・エッチング・成膜装置
• Mask Etcher: フォトマスク・エッチング装置
• ODYSSEY HDRF™ : プラズマフォトレジスト（有機ポリマー）除去、ボッシュプロセス後のスムーズイング
• Singulator™ : テープ式プラズマ・ダイシング装置

◆　ノン・クラスターツールラインアップ

• Vision™ : RIE, PECVD (エントリーモデル)
• Shuttleline: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD　（スタンダードモデル）
• Takachi: RIE, ICP, PECVD, ICP-CVD　（ハイエンドモデル）
• Kayen HDRF™: プラズマフォトレジスト（有機ポリマー）除去、ボッシュプロセス後のスムーズィング
• PlasmaPOD: 卓上型エッチング・成膜装置
• Heatpulse: ランプ・アニーリング装置
• Tegal : RIE装置
• Endeavor : PVD装置
• Eclipse : PVD装置
• TFE: バッチ式インラインPVD装置

 プレスリリース

• CHA INDUSTRIES,INC. (米国カルフォルニア）プラズマ・サーモ社の傘下に (20241025)

  2024年4月5日、CHA INDUSTRIES,INC.が、プラズマ・サーモ・グループの一員になりました。

  CHA Industriesは、精密コーティング向け電子ビーム蒸着システムの設計、製造をしております。

• レガシーツールTegal の各種アップグレードサービス提供開始！ (20241112)
  レガシーツールTegal の各種アップグレードサービスの提供を日本国内でも開始致しました。アップグレード内容の詳細につきましては、是非、お問合せください。

• レガシーツールEclipseの再製造・各種アップグレードサービス提供開始！ (20241112)
  日本国内でも受け入れ態勢の準備が整い、レガシーツールEclipseの再製造・各種アップグレードサービスの提供を国内で開始致しました。サービスの詳細につきましては、是非、お問合せください。