クリエイティブテクノロジー

ダストの噛み込みによるエラーを防止

独自の柔軟な特殊樹脂の実装により、ステージの表面はもちろんのこと、空気穴のエッジ面に付着したダストをも捕捉し、パーティクルによるエラーを未然に防止。

メンテナンス時間の大幅削減

ダミーウェハとしてイレイザーディスクをラインに流すことにより、製造ラインをストップさせることなくステージ表面に付着したパーティクルのクリーニングが可能。メンテナンス時間の大幅短縮を実現。

定期的なクリーニングで繰り返し使用可能

定期的に工業用アルコール（IPA）等を含ませたワイパーで付着したパーティクルを拭き取っていただくことで、繰り返しご使用いただけます。クリーニングの頻度については、用途・使用環境により異なりますので、標準期間は設定しておりません。

反ったウェハ―の搬送、高速搬送に実現に

弊社のIonPadは、一般的な滑り止めPadより高い水平把持力を発揮する事が可能な為、反ったウェハの搬送や裏面膜がついたウェハ搬送工程に効果的なPadとなっております。またPadの高い把持力により高速搬送を実現します。

高純度樹脂パッドを採用

対象物保持のために粘着テープを用いると、剥がした際の残留物質がしばしば問題になります。 IonPadは粘着物質ではありませんので、対象物側への物質残留が問題になりにくい設計です。

設備変更なしに導入可能

IonPadは自由に成型、施工が可能なPadの為、今現在御使用のハンド、エンドエフェクターに対してIon Padを施工頂くだけで搬送を改善する事が可能となります。

導入のメリット

拡散炉スマートセンサーはヒーター抵抗値の異常を事前に探知し、ヒーター交換の適切なタイミングをお知らせする事でヒーター断線などのトラブルを未然に防止致します。

ヒーターを最適なタイミングで交換する事で下記のメリットが得られます。

・予定外の装置ダウンタイムの削減。

・不要な部品交換を減らし、設備の所有コストを削減。

・メンテナンススケジュールの最適化。

拡散炉スマートセンサーを導入頂く事でウェハの損失、および設備の損傷を未然に防止する事が可能となります。

機能紹介

①リアルタイムで監視が可能

・ヒーターの抵抗、電流、電圧、アラーム状態などリアルタイムで確認が可能。

・アクティビティとアラームの状態を遠隔操作可能

②手元で簡単にアクセス、監視が可能

・追加でソフトウェアをインストールする事なく、スマートフォン、タブレット、パソコンからアクセス可能。

オンボードでのデータストレージ、視覚化、分析が可能

③データの保存と視覚化が可能

・１年間の抵抗データ保存可能

・時間、日、週、月毎の傾向を表示可能

・Excelでの外部分析用データのエクスポートが可能

・プロットをダウンロードしてレポートメールで送付可能

一般的な静電チャックは電圧供給時に対象物を吸着し、電圧を遮断すると対象物が外れる仕組みのため、使用する際は静電チャック本体を常時電源に接続しておかなければなりません。すなわち、長距離の搬送、大気環境から真空チャンバーへの移動、回転機構での使用など用途によっては適さないケースも存在します。

一方、静電キャリアは静電チャックの特長を応用した新しい吸着方式であり、対象物の脱着時にこそ電源との接続を必要とするものの、吸着を維持する際には電圧供給を必要としないため、電源から切り離して使用することが可能です。静電キャリアは、これまで両面テープやクランプ方式が採用されていた工程の自動化・効率化・ランニングコスト削減に貢献します。

・従来の静電チャックの技術を応用し、ケーブルレスでの吸着搬送を可能に。

・エアーの移動をともなわない静電吸着の為、吸着状態で大気環境⇔真空チャンバーへの移動が可能。

・損傷しやすい薄物のガラスやウエハーや金属箔をはじめ、フィルムや紙などさまざまな素材への適応が可能。

製品のおもな特長

① 真空プロセスで実績のある材料で構成

半導体製造装置向けの静電チャックと同じ材料で構成されているため、汚染やパーティクル管理の厳しい真空プロセスにおいても使用可能です。

② 長時間の保持にも対応

シリコンウェハーやガラスといったスタンダードな吸着対象物においては、無給電状態で240時間以上もの連続吸着を確認しています。

③ 繰り返し使用できる

静電キャリアは繰り返しの使用が可能です。外傷や消耗等により使用できなくなった場合には修理や再生も可能で、環境にも優しいツールです。

④ オーダーメイド設計に対応

一般的な静電チャック同様に、用途に合わせたオーダーメイドの設計・製作が可能です。形状、寸法、厚み、吸着対象物の種類など、お気軽にご相談ください。