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自社製品を始め、海外の半導体装置・材料を取り扱っており、理解しやすい展示を心がけておりますので、是非一度ご来場ください。
弊社展示ブースにおいては、下記10点のアイテムを紹介させて頂きます。
１：西村ケミテック（日） スラリー/ケミカル希釈供給システム
２：西村ケミテック（日） D/C自動化システム、ドラム攪拌システム
３：ENTEGRIS（米）/西村ケミテック（日） On-Line分析システム統合Slurry/Chemical供給システム
４：UNISEM（韓） 排ガス除害装置
５：LOT VACUUM（韓） 真空ポンプ/PPS
６：LOT CES（韓） PPS（Plasma Pre-treatment System）
７：SEMI-TS（韓） N2パージシステム LP
８：GTA（台）ダイシング用のウェハ保護膜
９：Quantum Science（英）高性能SWIRイメージセンサ材料及び半導体製造を支援する量子ドット
１０：普清浄化 PUQING PURIFICATION（中） PE/ナイロンのクリーン袋
是非、弊社ブースに来展頂き手に取って御観覧ください。
◆◆◆製品詳細は下記のホームページをご参照お願い致します。
https://nishimura-ct.co.jp/events/
NYSのIn-Line Mixingを特長としたSlurry/Chemical供給システムに、高精度・高倍率希釈調製システム、LPC MonitorとChemical MonitorをOn-Line統合したシステムをご提案。
Lab.分析装置と同等の精度を持つ、LPC計測、Chemical濃度測定をOn-Line統合しトレンド管理を行う事で、供給するSlurry/Chemical起因のトラブルを抑制、より高精度な濃度コントロールを可能とします。
UNISEMは、韓国を代表する半導体/液晶プロセス向けの除害装置/Chillerメーカーです。
除害装置の場合、Burn-wet式、Plasma式など様々なラインナップを持っており、 国内デバイスメーカー向けに500台以上の実績を持っております。台数増に伴い、西村ケミテックはUNISEM社との連携強化し、 立上、保守、メンテ、トラベル対応まで国内窓口として役割を果たしております。
SEMI-TSは2014年に設立され、半導体製造プロセスに欠かせないAMHSソリューション事業を開始。
300mm FABのクリーンコンベア/E84センサー事業/スマートパージシステム/Smart OHT開発などを行っております。
韓国の真空装置メーカーLOT VACUUMは、半導体/液晶/太陽光向けのドライ真空ポンプのメーカです。
半導体、ディスプレイパネルの前工程の多くは、真空状態で行われるため、 真空ポンプで一定の空間で気体を含む各種の物質を吸って真空状態を作ります。 同社ポンプは、同じ形のネジカップル噛み合っ回転しながら気体を吸入、排気するスクリュー（Screw）方式であり、 競合他社が活用するルーツ（Roots）と比較して部品数が少なく、排気量が高いのがメリットです。
ポンプ前段部分（真空配管）に装着して、毒性/引火性ガスを安全なガスに処理するシステムです。
配管PM時の際、ZrO,HfO,TiOなどプロセス副産物による発熱、発火、爆発などを防ぐため、 環境安全観点から該当工程では多く採用されております。
特徴：毒性/引火性ガスを安全なガスに改質処理 副生成物を分解・排気 副生成物のParticleサイズを最小化 PumpのMTBFを延⾧(メンテナンスコストを削減)