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ニデックマシンツール

栗東市,  滋賀県 
Japan
https://www.nidec.com/jp/nidec-machinetool
  • 小間番号5321


ニデックマシンツールの常温ウェーハ接合装置(BOND MEISTER)を紹介します。

 ニデックマシンツール(株)は、常温ウェーハ接合装置による

 各種のソリューションを提供します。

常温ウェーハ接合装置は、室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に接合します。

MEMSの真空封止、SAWフィルタ、パワーデバイス、3D積層などに活用できます。各種材料の接合サンプルや応用事例を展示します。


 プレスリリース


 出展製品

  • 常温ウエーハ接合装置(BOND MEISTER):ポスター展示
    シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属等多岐にわたる材料を室温で強固に接合する装置です。MEMSの真空封止、SAWフィルタ用基板、パワー半導体基板、 3D積層などに活用できます。...

  • ウエーハ表面をイオンビームや中性原子を照射することにより活性化し、完全な室温下で接合する装置です。
    高精度の加速度センサや圧力センサなどのMEMSデバイスのウエーハレベルパッケージングや、SAWフィルタ用基板の接合やパワーデバイス用の
    基板張り合わせでは、多くのお客様で量産に用いられています。4インチから12インチまでのウエーハサイズに対応し、経済的なランニングコストでデバイスの量産を支えます。ニデックマシンツールでは、デバイスの開発フェイズに合わせた接合サービスを行っており、お客様の開発するデバイスを短期に製品化できるようサポートしています。