当社は装置内の複数のデバイスから得られるデータを活用し、より安全で効率的な搬送手法の研究開発を進めています。
具体的な取り組みとして、独自開発のウエハクリアランスセンサとハンド部へのカメラを搭載したロボットを開発しています。
ウエハクリアランスセンサは、エンドエフェクタ上に貼り付けることを可能とした薄い非接触距離検出センサで、エンドエフェクタとウエハのクリアランスを測定することができます。
カメラは、高解像度かつ小型のもので、可変フォーカスのレンズを採用しており、装置内のさまざまな対象物を鮮明に捉えることができます。
本展示では、上記の開発要素を用いた２つの機能を実演いたします。
〇インターロック機能
ウエハクリアランスセンサを用いて、エンドエフェクタとウエハの距離が計測できることを実演します。
計測結果を分析し、インターロック機能への活用を可能とします。
〇搬送モニタリング＆レコーディング機能
搬送プロセスをリアルタイムでモニタリングできることを実演します。
ロボットエラーなど異常が発生した場合には、その瞬間の映像を保護することができます。高精細な映像により、搬送中の状況を詳細に把握し、品質管理やトラブルシューティングをより効果的に行えます。
その他、ハンド部に搭載されたカメラを使用することで、ステージ上に配置された治具を認識することで、適切な位置にロボットを誘導し、全自動でティーチングポジションを決定する用途や、カメラ映像からロードポートのポートドアが閉まっているなどの異常状態を検知し、ヒューマンエラーによる事故を防止することができます。